판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #9180520

KARL SUSS/MICROTEC MA 1006은 까다로운 사진 분석 요구 사항을 충족하도록 설계된 매우 정밀하고 완전 자동화 된 마스크 정렬 자입니다. 이 고급 도구는 고해상도 6 인치 및 8 인치 사진 분석 작업에 적합합니다. 규소, 금속, 유리, 화합물 등 기판에 집적 회로, MEMS 및 기타 장치를 만드는 데 이상적입니다. 이 도구를 사용하면 마스크를 0.5 미크론 (0.5 미크론) 이하의 해상도와 최대 100 미크론 (미크론) 의 깊이로 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한 GDSII, OpenAccess 등의 업계 표준 형식에서 데이터를 임포트할 수 있는 유연성을 제공하여 빠르고 쉽게 설치할 수 있습니다. 마이크로텍 MA 1006 (MICROTEC MA 1006) 에는 거칠고 미세한 정렬을 위한 전동식 광학 시스템이 장착되어 있어 뛰어난 반복성과 정확성을 제공합니다. 추가 정확성을 위해 KARL SUSS MA-1006은 1 ~ 5 개의 각도에서 정렬 각도를 조정할 수있는 다각도 (옵션) 버전을 제공합니다. 정밀 자동화 (precision automation) 소프트웨어를 사용하면 매개변수를 생성, 편집, 모니터링하여 가장 까다로운 정렬 요구사항에 대한 프로세스 정확도를 극대화할 수 있습니다. 이 시스템에는 통합 도량형 스테이션 (Metrology Station) 이 포함되어 있으며, 실시간 정렬 제어 기능을 제공하며, 하위 선형 성능으로 정렬 결과를 분석, 문서화하는 다양한 기능을 제공합니다. 또한, 이 도구는 photoresist dispense 및 POST 노출 베이크 (PEB) 와 같은 고급 기술을 사용하여 사용자가 웨이퍼 처리량을 최적화 할 수 있습니다. 또한 이더넷, USB, 직렬 포트 등 통신 프로토콜을 완벽하게 보완하는 다양한 입출력 (Input and Output) 기능을 제공합니다. 사용자 친화적이고 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 데이터 처리 및 설정 작업을 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 이 마스크 정렬기는 매우 견고하며, 최소한의 유지 보수를 통해 안정적이고, 안전하며, 안정적인 작동을 제공합니다. 안전 (Safe) 작업 환경을위한 수동 및 전기 안전 차단 (Electrical Safety Cut-off) 버튼이있는 고급 안전 시스템이 있습니다. MA-1006은 또한 완벽하게 업그레이드할 수 있으며, 향상된 오버레이 정확도, 더 큰 시트 형식, 고급 자동화 도구 (advanced automation tools) 와 같은 옵션 기능으로 구성할 수 있습니다.