판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #9006500
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ID: 9006500
웨이퍼 크기: 6"
Mask aligner, 6"
(1) Micron resolution on 6" wafers
Split field microscope with (6) objectives
1000 W Power supply.
KARL SUSS/MICROTEC MA 1006은 반도체 장치 제작과 같은 마이크로 리소그래픽 응용 프로그램의 신뢰할 수 있고 정확한 마스크를 생성 할 수있는 고급 마스크 정렬 시스템입니다. 시스템은 광학 렌즈와 2 축 정렬 시스템을 사용하여 마스크와 기판을 정확하게 정렬합니다. 하단 (bottom) 뷰 카메라는 마스크를 스테이지로 표시하는 데 도움이 되고, 상단 (top) 뷰 카메라는 기판을 정확하게 배치하는 데 도움이 됩니다. MICROTEC MA 1006은 최소 정렬 오류 2.5µm을 달성 할 수 있으며, 이는 2µm 미만의 기하학이있는 장치에 필수적입니다. KARL SUSS MA-1006은 안정성을 높이고 생산 프로세스의 오류를 최소화하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 프로그래밍 가능한 정렬 프로세스 (programmable alignment process) 화면에서는 사용자 사양에 따라 마스크와 기판의 전체 이미지 캡처 및 이동이 가능합니다. 내장형 필터는 옵틱의 소음을 없애는 데 도움이 되고, 5nm 해상도의 동작 제어는 정렬의 정확성을 보장합니다. MA 1006 에는 자동 초점 (auto focus) 기능도 함께 제공되며, 이 기능은 수차 교정 및 마스크 초점 제어에도 사용할 수 있습니다. KARL SUSS MA 1006에는 인체 공학적 디자인이 장착되어 있어 사용이 편리합니다. 과잉 광학 (Heavy Duty Optics) 은 내구성을 높이고 온도가 안정되어 청소해도 정확성을 보장합니다. 또한 다양한 연결 포트 (Connection Port) 를 통해 다른 장비와 손쉽게 통합할 수 있습니다. 전반적으로 KARL SUSS/MICROTEC MA-1006은 강력하고 신뢰할 수있는 마스크 정렬 자입니다. 고급 기능, 정밀도 및 사용 편의성 (ease of use) 은 높은 정확도의 반도체 장치 제작에 이상적이며 생산 과정을 단축시킵니다. 이 "마스크 '조정자 는 적절 한 유지 를 통해 여러 해 동안 신뢰 할 만한 봉사 를 할 수 있다.
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