판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293792883

ID: 293792883
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 1006은 submicron 기판 및 특정 집적 회로 (IC) 응용 프로그램의 접촉 노출 리소그래피에 가장 일반적으로 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 이 마스크 정렬 기는 전체 8 인치 웨이퍼가 가능한 10 ½ m (0.00004 ") 해상도와 196mm (7.7") 공정 크기에서 광범위한 정렬 정확도 및 노출 범위를 제공합니다. MICROTEC MA 1006은 병렬 노출 리소그래피를 위해 설계되었으며 2 개의 독립적 인 고정 스캐닝 단계와 2 개의 독립적으로 제어 된 프로그래밍 가능한 노출 단계를 포함합니다. 스캐닝 단계는 자체 포함 셔터, 자동 열 스위치, 피더 암 및 통합 디가 우서와 결합됩니다. 자동 열 스위치 (automated heat switch) 는 기계가 고온 범위와 저온 범위 사이에서 작동 할 수있는 반면, 통합 데가 우저 (degausser) 는 다양한 기판에서 최대 노출을 보장합니다. 노출 단계는 정밀 스테퍼 모터 드라이브 (stepper motor drive) 와 프로그래밍 가능한 노출 시간을 특징으로하며, 급지대 (feeder arm) 는 기계를 빠르게 설정하고 실행할 수 있습니다. 카를 수스 (KARL SUSS) MA-1006 (MA-1006) 에는 기판의 노출 위치를 감지할 수있는 포토 셀 (photocell) 과 마스크를 정확하게 정렬 할 수있는 밝은 필드 검출기와 같은 여러 가지 특수 기능이 함께 제공됩니다. 또한, 이 기계는 여러 운영 체제를 실행할 수 있으며, 마스크 설정 (mask setup) 과 노출 (exposure) 을 최적화하기 위해 덜 복잡한 소프트웨어를 사용할 수 있습니다. KARL SUSS MA 1006은 고정밀 장치로, 고해상도와 반복 가능한 결과를 제공할 수 있습니다. 고급 이미지 처리 (advanced image processing) 및 제어 시스템 (control system) 을 통해 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 제어 시스템에는 최첨단 온도 모니터 및 제어, 전원 공급 장치 및 환경 모니터링, 정밀 정렬 시스템, 접촉 노출 등이 포함됩니다. 이를 통해 MA-1006 은 광범위한 석판화 (lithographic) 애플리케이션에 최고 수준의 정확성과 처리량을 제공할 수 있습니다.
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