판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293792236

KARL SUSS/MICROTEC MA 1006은 photomask, patterned wafer 및 photolithography 프로세스의 기판을 정확하게 정렬하는 데 사용되는 전문 등급 마스크 정렬 자입니다. 이 매우 정확 한 기계 는 "포토리토그래피 '설계 의 정렬 과 노출 을 지배 하는" 파라미터' 를 엄밀 히 제어 하도록 설계 되었다. MICROTEC MA 1006은 광학, 기계 및 전기 부품의 독특한 조합을 사용하여 다양한 재료에 패턴을 정확하게 정렬합니다. 텔레센트릭 Cr-x-Si-Zeiss (통신 Cr-x-Si-Zeiss) 열은 포토 마스크 패턴을 얻을 수있는 광학 전원을 제공하는 반면, 컴퓨터 제어 (computer controlled) 단계는 패턴이 있는 기판과 마스크를 서로 관련하여 올바른 위치에 정확하게 배치합니다. 최고 수준의 정확성을 보장하기 위해 KARL SUSS MA-1006은 백 리플렉션 이미징, 노출 중단 및 스테이지 미세 튜닝을 통합하는 폐쇄 루프 (closed-loop) 정렬 장비를 사용하여 photolithography 프로세스의 사양을 충족하거나 초과하는 정렬 정확도를 보장합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-1006은 균일하고 반복 가능한 조명 노출과 석영, 융합 실리카 및 크롬 온 글래스를 포함한 다양한 광 마스크 재료를 제공하도록 설계되었습니다. 4 인치에서 8 인치 범위의 기판 크기를 수용 할 수 있습니다. 디지털 도량형 시스템 (DMS (Digital Metrology System) 은 기계와 통합되어 있으며, 포토마스크가 노출되기 전에 정확한 위치에 정확하게 배치되도록 도와줍니다. 또한 이 장치는 여러 노출 주기 (Exposure Cycle) 를 프로그래밍하고 실행하여 처리량 및 정확도를 높일 수 있습니다. MICROTEC MA-1006에는 고출력 LED, 호, 레이저를 포함한 다양한 조명 소스와 노출 중 UV 방사선을 방지하는 독특한 UVShadow Shield가 있습니다. 0.5um에서 6.5um 사이의 감광 필름 두께와 9 축 동작 제어기를 생성 할 수 있습니다. 이 기계는 유전체, 석영의 크롬, 유리의 크롬, 실리카의 크롬, 기타 고급 포토 마스크 유형 등 다양한 포토 마스크 재료와 호환됩니다. MA 1006은 인체 공학과 안전을 염두에 두고 설계되었으며, 사용하기 쉽습니다. 사용이 간편한 종합적인 그래픽 사용자 인터페이스가있는 19 인치 TFT LCD 터치 스크린을 갖추고 있습니다. 이 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 또한 다양한 소스에서 기판과 포토 마스크 (Photomask) 의 반복 가능하고 정확한 정렬을 제공하여 사진 리토그래피 프로세스의 처리량을 높이고 비용을 낮추는 강력한 도구입니다.