판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293774924
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KARL SUSS/MICROTEC MA 1006은 마이크로 전자 장치의 생산에 사용되는 정밀 마스크 정렬 자입니다. MEMS (Microelectromechanical Systems) 제작, 고급 반도체 장치, 마이크로 옵틱스 (micro-optics) 등 다양한 어플리케이션에 적합한 다용도 및 신뢰할 수있는 도구입니다. MICROTEC MA 1006은 다양한 스테퍼/스캐너 투영 광학과 작동하며 평면 및 3D 마스크를 둘 다 유지할 수있는 a6 축 마스크 정렬 자입니다. 다양한 크기의 마스크를 정렬하는 데 사용할 수 있는 넓은 시야 (field of view) 가 있습니다. KARL SUSS MA-1006의 정렬 헤드는 XY, YZ, XYZ 및 XZ 평면 변환과 X, Y 및 Z 축의 회전 정렬을 허용합니다. MICROTEC MA-1006은 또한 나노 미터 해상도의 내장 Z 모터를 사용하는 수동 또는 프로그래밍 가능한 z-focus 드라이브를 제공합니다. 마스크 정렬자 (Mask Aligner) 에는 여러 가지 주요 기능이 포함되어 있어 높은 정확도 결과를 얻을 수 있습니다. 여기에는 고급 제어 및 측정 장비 (정밀 정렬을위한 조이스틱, 시각적 정렬을위한 내장 현미경 카메라 포함) 가 포함됩니다. KARL SUSS MA 1006은 또한 정확도를 개선하기위한 비전 기반 자동 초점 시스템과 최대 반복성을 위해 높은 정확도의 XY 스캔 장치를 갖추고 있습니다. 마스크 알리그에는 고성능 프로젝션 렌즈가 장착되어 있으며, 접촉 이미징의 경우 0.5äm, 비접촉 이미징의 경우 0.8äm 해상도를 달성 할 수 있습니다. 또한 KARL SUSS/MICROTEC MA-1006에는 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 및 전원 장애 복구 시스템 (Power Failure Recovery Machine) 과 같은 안전 기능이 내장되어 있어 예기치 않은 이벤트로부터 기계와 샘플을 보호할 수 있습니다. 전반적으로, MA 1006은 마이크로 일렉트로닉 장치 생산에 사용하도록 설계된 안정적이고 정확한 도구입니다. 이 제품은 광범위한 정밀 정렬 및 이미징 (Imaging) 기능을 제공하며, 안전하고 효율적인 운영을 위해 다양한 기능을 갖추고 있습니다.
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