판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 1 #293625570
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KARL SUSS/MICROTEC MA 1은 사진 해설학 및 반도체 산업, 특히 마이크로 패브라이션 및 나노 abrication에서 중요한 도구입니다. 마스크 정렬기 (mask aligner), 극도로 정밀하게 표면에 이미지를 투영하고 등록하는 데 사용되는 광학 도구입니다. 마스크 정렬기는 주 광학 헤드와 유연 암 (flexible arm) 으로 연결된 기본 유닛으로 구성됩니다. 주 광학 헤드에는 투영 렌즈와 패턴 마스크가 들어 있는 샘플 척 (sample chuck) 이 있습니다. 패턴 마스크 (pattern mask) 와 기판 (substrate) 이 제대로 정렬되고 샘플 척 (sample chuck) 이 관여하면 투영 렌즈가 패턴 마스크를 샘플에 투영합니다. 패턴 마스크 (pattern mask) 는 재정렬 없이 빠르게 변경할 수 있으며, 마이크로파브라이션 (microfabrication) 또는 나노파브라이케이션 (nanofabrication) 시 패턴 디자인의 유연성이 향상됩니다. MICROTEC MA 1은 수동 (manual), 반자동 (semi-automated), 완전자동 (fully-automated) 모드를 가지며 패턴 마스크를 높은 정확도와 정밀도로 배치하고 정렬 할 수 있습니다. 정밀 현미경을 사용하면 패턴 마스크 및 샘플을 수동으로 정렬할 수 있습니다. X-Y 수동 조절 가능 스테이지 및 마이크로미터 (micrometer) 는 투영 시스템이 샘플과 완벽하게 정렬되도록 합니다. 또한, KARL SUSS MA 1 은 등록 표시 및 위치를 위한 스토리지 시스템을 갖추고 있으며, 이는 마스크 간을 신속하게 변경함으로써 프로세스 처리량을 높여줍니다. MA 1은 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 장치의 제조 및 생산을 돕기 위해 신뢰할 수 있는 고정밀 이미징을 제공합니다. 다양한 기판으로 패턴을 정확하게 재현하는 시스템의 능력은 사진 (photolithography), 나노 (nanofabrication), 반도체 (semiconductor) 산업 분야의 사람들에게 귀중한 도구입니다. 정밀도가 높은 광학 (optical) 정렬을 통해 제품의 품질과 정확도를 극대화할 수 있습니다.
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