판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC M6000L #9012375

KARL SUSS/MICROTEC M6000L은 고급 반도체 석판 공정을 위해 특별히 설계된 생산 마스크 정렬 자입니다. 높은 처리량, 다용도 및 탁월한 프로세스 제어가 특징입니다. MICROTEC M6000L은 고정밀 선형 포지셔닝 단계와 자동화된 "교육 및 재생 (teach-and-replay) "/정렬 장비를 사용하여 마스크와 웨이퍼 간의 정확한 정렬을 지원합니다. 이 시스템은 사용자 친화적이고 직관적인 그래픽 인터페이스 (graphic interface) 로 프로그래밍되며, 제품 개발, 엔지니어링, 프로덕션 요구 사항을 지원하는 강력한 알고리즘을 제공합니다. KARL SUSS M6000L은 포지셔닝을 위해 1äm의 해상도와 6äm의 높은 정렬 정확도를 제공합니다. 또한 깊은 UV, E-beam 및 i-line을 포함한 표준 및 고급 리소그래피 프로세스의 사용을 모두 지원합니다. 또한, 이 장치는 최대 12 "크기의 대형 기판과 표준 4" 및 5 "웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. M6000L 정렬 장치 (aligner) 는 기판 홀더와 도구 사이에 안전하고 반복 가능한 연결을 제공하는 자동 클램핑 머신을 갖추고 있습니다. 임계 노출 단계에서 기질에 적절한 진공 압력을 제공하기 위해 진공 포트 (vacuum port) 및 진공 발자국 격리 (vacuum-footprint isolation) 도 포함됩니다. KARL SUSS/MICROTEC M6000L은 재생성과 반복 가능한 리소그래피 프로세스를 가능하게하는 여러 가지 고급 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 온도 조절 환경, 마스크 및 기판의 자동 습도 제어, 챔버 소모품을 사용한 프로세스 모니터링, 웨이퍼 정렬 및 노출 프로세스의 원격 모니터링 등이 있습니다. 에셋에는 디지털 이미지 캡처 카메라 (digital image capture camera) 도 포함되어 있어 초점 거리 모니터링을 통해 노출된 패턴에서 고해상도 이미징 성능을 보장합니다. MICROTEC M6000L (MICROTEC M6000L) 은 고급 반도체 재료의 최적의 패턴 개발을 보장하기 위해 설계된 고급, 모든 기능을 갖춘 리소그래피 솔루션입니다. 이 모델은 사용자에게 종합적인 리소그래피 (lithography) 장비를 제공하여 높은 처리량과 정확한 프로세스를 지원합니다. 또한 사용자가 반복 기능, 강력한 성능, 비용 효율성을 실현하는 동시에 고품질 디바이스를 제공할 수 있습니다.