판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC BA 6 #9144075

KARL SUSS/MICROTEC BA 6은 주류 반도체 프로세싱의 요구를 충족하도록 설계된 최첨단 마스크 정렬기입니다. 이 정렬기는 고급 광 정렬 (optical alignment) 및 도량형 (metrology) 기능을 사용하여 마스크의 양면을 정밀 웨이퍼 전송하고 웨이퍼에 정확하게 등록합니다. 고유하고 혁신적인 설계로, 장비는 사용자 친화적이며, 매우 정확한 마스크 정렬을 제공합니다. MICROTEC BA 6은 높은 해상도에서 리소그래피를 가능하게하며, 이는 정렬 정확도의 장애를 제한합니다. 이는 0.4äm 이하의 기능 크기와 최대 1äm 선 너비의 정렬 정확도에 해당합니다. 정렬자 (aligner) 에는 각 정렬 면을 XY 방향으로 개별적으로 정렬하는 고유한 메커니즘이 포함되어 있어 정렬자의 정확도가 높아집니다. KARL SUSS BA 6은 고급 도량형 모드를 통합하여 각 노출 매개 변수의 정확한 추적 가능성을 허용합니다. 이 시스템은 정렬 면 (Alignment Facet), 웨이퍼 거리로 마스크 (Mask to Wafer Distance) 및 높은 정밀도로 임계 치수를 측정할 수 있습니다. 또한 정렬자 (aligner) 는 매우 정밀한 스테이지 동작 제어 장치 (stage motion control unit) 를 갖추고 있어 반복 가능한 정렬 및 피쳐 노출이 가능합니다. 이 마스크 정렬 (Mask Aligner) 은 특허 검사 기계를 통합하여 마스크 패턴을 확인하고 정렬 결함을 식별합니다. 또한, 이 도구를 사용하여 데이터베이스를 연결하면 에셋이 통계 데이터 (statistical data) 를 사용하여 정렬 조건을 최적화할 수 있습니다. 이는 노출 부진의 수를 줄임으로써 레티클의 수명을 증가시킵니다. 고급 기능과 기능을 갖춘 BA 6 는 시장에서 가장 정확한 마스크 (마스크) 를 제공합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 사용 편의성, 반도체 제조의 생산 프로세스 간소화.