판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC 505 #9173271

ID: 9173271
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC 505는 photolithography와 같은 응용 프로그램에 photomask 및 wafer를 정렬하도록 설계된 고성능 Mask Aligner 장비입니다. 통합 컴퓨터 컨트롤러가 장착 된 매우 정밀한 시스템으로, 정렬 정확도는 0.7 m (m) 에 불과합니다. 이 장치는 WA (웨이퍼 정렬) 테이블과 RA (레티클 정렬) 테이블의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 두 테이블 모두 마이크로 미터 스타일의 X 및 Y 변환 단계와 2 개의 훌륭한 Z 단계가 장착되어 있습니다. 미세한 Z 단계를 사용하면 X 및 Y 축을 독립적으로 조정할 수 있습니다. photomask 및 웨이퍼를 정렬하기 위해 Mask Aligner 기계는 vision 도구를 사용합니다. 이 에셋은 LED (LED) 또는 레이저 프로젝터와 이미지 캡처 장치를 사용하여 마스크 및 웨이퍼에서 참조 지점을 찾아 측정합니다. 또한, 모델을 광 마스크 검사, 3D 프로파일로메트리 또는 오프라인 자동 중심에 사용할 수 있습니다. 장비에 포함된 소프트웨어는 마스크 정렬 (mask alignment), 측정 (measure), 검사 (inspection) 와 관련된 다양한 작업을 지원하고 사용이 간편하고 사용이 간편한 사용자 인터페이스를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 Mask Aligner 시스템은 뛰어난 정확성과 해상도를 제공합니다. 2 축 정렬 마이크로미터 스케일이 장착되어 있으며, 배수량 0.7 "m '미만을 등록 할 수 있습니다. 이러한 정밀도 수준은 포토 마스크 및 웨이퍼를 미크론 크기의 피쳐로 정렬할 때 필수적입니다. 마지막으로, 이 장치는 통합 경보기 (alarms machine) 를 제공하여 운영자에게 잘못된 정렬 또는 불규칙성을 경고합니다. 전반적으로 MICROTEC 505 Mask Aligner는 마스크 정렬 프로세스에서 정밀도, 정확도, 신뢰성을 제공하는 강력한 도구입니다. 통합 비전 도구, 고해상도 (high resolution), 알람 에셋 (alarm asset), 사용자 친화적 (user-friendly) 소프트웨어를 통해 사진 분석 응용 프로그램에 이상적인 선택이 가능합니다.
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