판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC 1169901 #293614725
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KARL SUSS/MICROTEC 1169901은 미세 전자 및 나노 기술 구성 요소의 제작에서 광석판 처리에 사용될 수있는 반자동 마스크 정렬 자입니다. 이 장비는 강력한 마스크 조작과 고해상도 이미징 기능을 갖추고 있습니다. 정렬 시스템은 광학 현미경과 확장 거울 (dilation mirror) 을 사용하여 마스크와 기판 사이의 정확한 거리를 측정한 다음 정확한 X-Y-Z 좌표로 마스크를 이동하여 원하는 패턴을 기판에 정렬합니다. 장치의 작동 면적은 122 x 122mm이며 해상도는 5 µm, 정확도는 1.5 äm입니다. MICROTEC 1169901에는 컴퓨터 제어 XYZ 테이블과 전동 마스크 스테이지가 통합되어 있습니다. KARL SUSS 1169901 마스크 알리그너는 유기 또는 분해 된 알루미늄, 실리콘, 유리, 석영 및 융합 석영을 포함한 광범위한 재료를 노출시키는 데 사용될 수 있습니다. 이 기계는 또한 80mW/cm2의 노출 및 1:1000 사이의 강도 비율로 작동 할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 디지털 데이터 로깅과 사용자에게 친숙한 터치 스크린 인터페이스를 제공합니다. 또한 외부 Optic과의 통합 실시간 이미징 (Real-Time Imaging) 및 제어 (Control) 통합 및 최대 처리량을 위한 상세한 정렬 처리 시퀀스를 프로그래밍할 수 있습니다. 또한, 자율 렌즈는 외부 광학 교정 없이도 정확한 정렬을 보장합니다. 1169901 mask aligner는 microfabrication, wafer-level encapsulation 및 stacked dies의 캡슐화를 포함한 다양한 분야에서 사용하도록 설계되었습니다. 고밀도 정렬 결과를 제공할 수 있는 신뢰할 수 있는 마스크 조정기 (mask aligner) 가 필요한 연구원, 엔지니어, 제조업체를 위한 비용 효율적인 도구입니다.
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