판매용 중고 KARL SUSS AltaSpray #9278861

KARL SUSS AltaSpray
ID: 9278861
빈티지: 2007
Spray coater 2007 vintage.
KARL SUSS AltaSpray는 정밀 마스크 정렬 기이며, 종종 마이크로 칩 및 기타 집적 회로 부품 제작에 사용됩니다. KARL SUSS 회사에서 제조하며, 정밀 정렬 마스크와 결합 된 독특한 스프레이 기술이 특징입니다. 이 설계를 통해, 전사 과정에서 기판으로 패턴 (pattern) 을 정확하고 일관되게 전달할 수 있습니다. 알타 스프레이 (AltaSpray) 는 나노 리소그래피 (nano-lithography) 를 위해 설계되었습니다. 고해상도 이미징 (Imaging) 이 가능한 매우 정확한 투영 렌즈를 사용합니다. 또한, 특허받은 단계 (patented stage) 를 사용하여 마스크와 기판을 정확하게 정렬합니다. 이를 통해 전달 과정이 주어진 기판으로 높은 정확성, 반복 가능성, 재현성을 얻을 수 있습니다. KARL SUSS 알타 스프레이 (AltaSpray) 는 또한 입자 감지 및 제어 시스템, 자동 마스크 청소 및 유지 관리 시스템과 같은 자동 기능을 제공합니다. 이러한 기능은 스프레이 프로세스의 정확성과 효율성을 높이기 위해 설계되었습니다. AltaSpray는 주로 마스크 투영 리소그래피의 원칙에 따라 작동합니다. 이 과정에서, 디지털 패턴 이미지는 마스크를 통해 기판에 투영된다. 마스크는 투영 렌즈와 기판 사이에 배치되며 UV 광원에 의해 조명됩니다. 이 광원과 마스크 조합을 마스크 정렬기라고합니다. "마스크 '와 기판 이 정렬 되면 원하는" 패턴' 이 기판 에 투영 되고 나머지 부분 의 "마스크 '는 비워진다. 이렇게 하면 전송 과정에서 패턴을 정확하게 배치할 수 있습니다. KARL SUSS AltaSpray는 고품질 패턴을 보장하기 위해 특허를받은 스프레이 기술도 사용합니다. 이 "스프레이 '기술 에는 원자 로 만든" 스프레이' 의 저항제 혹은 석판 처리 중 에 기질 이 "에칭 '되지 않도록 보호 하는 데 사용 되는 재료 들 이 포함 된다. 일단 "레지스트 '와 기판 이 접하게 되면, 그 들 은 안정 된 보호층 을 형성 하여 원하는" 패턴' 을 기판 에 "에칭 '할 수 있게 한다. 알타 스프레이 (AltaSpray) 는 리소그래피 패턴을 기판으로 옮기는 데 매우 효과적인 도구입니다. 매번 정확하고 재현이 가능한 결과를 얻을 수 있도록 설계되었으며, 집적회로 (Integrated Circuit) 와 기타 장치를 보다 빠르고 효율적으로 생산할 수 있습니다.
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