판매용 중고 INTERNOVA ICLS-RTX #9375197
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INTERNOVA ICLS-RTX 마스크 정렬기 (INTERNOVA ICLS-RTX mask aligner) 는 전자 부품을 제작하기 위해 포토마스크의 피쳐를 피쳐와 정렬하는 데 사용되는 도구입니다. 이 도구는 반도체 제작, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 제조 및 기타 마이크로 스케일 제작 프로세스에 적합합니다. 기계 는 정밀도 와 정확도 가 높아서, 가장 복잡 한 "디자인 '에도 적합 하다. ICLS-RTX 마스크 정렬기는 고급 광학과 컴퓨터 제어 정밀 역학을 결합하여 포토 마스크 (photomask) 에 존재하는 복잡한 패턴을 정확하게 정렬합니다. 기계의 해상도는 약 0.0001 "인 두 개의 정밀 선형 단계가 있습니다. 8 배 loupe 및 zoom optics 시스템을 사용하면 연산자가 정확한 위치 지정을 위해 정렬되는 패턴을 확대/축소할 수 있습니다. 이것 은 보통 처리 되는 기판 위 에 정렬 해야 하는 격자 (grating) 와 반점 (spot) 의 패턴 으로 이루어져 있다. 부착된 카메라 시스템을 통해 연산자는 정렬 프로세스 중에 마스크 (Mask) 와 기판 (Substrate) 을 모두 볼 수 있습니다. INTERNOVA ICLS-RTX 마스크 정렬기는 손쉬운 작업 및 모니터링을 위해 터치 스크린 GUI (Graphical User Interface) 로 제어됩니다. 이 직관적인 인터페이스 (interface) 를 통해 사용자는 정렬 단계를 보다 효율적이고 사용자에게 친숙한 방식으로 제어할 수 있습니다. 실시간 모니터 (Real-time Monitor) 에는 정렬 절차가 있는 대로 표시되며 필요에 따라 실시간으로 조정할 수 있습니다. 저장된 모든 데이터는 쉽게 검색할 수 있으며 필요에 따라 조정할 수 있습니다. ICLS-RTX 마스크 정렬기는 장치 구성, 패키징, 연락처 인쇄 등의 웨이퍼 등록 프로세스에 적합합니다. 또한 UV 치료, 어닐링 및 에칭 프로세스를 지원합니다. 이 기계는 신뢰성이 높으며 반복 가능한 정렬 정확성과 안정성을 제공 할 수 있습니다. 정렬 매개변수는 5-Phi 공차 내에서 최대 7 개의 오버레이를 정확하게 정렬합니다. INTERNOVA ICLS-RTX 마스크 정렬기 (INTERNOVA ICLS-RTX mask aligner) 는 다양한 정밀 제어 기계로, 뛰어난 정렬 정확도와 안정성으로 고품질의 전자 기능을 생산할 수 있습니다. 고급 기능과 직관적인 인터페이스 (interface) 를 통해 다양한 운영 용도로 이상적인 선택이 가능합니다.
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