판매용 중고 HTG UV 3000A #9115291

HTG UV 3000A 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 반도체 제작 업계에서 웨이퍼 표면에 마스크 패턴을 단단히 정렬하는 데 사용되는 장치입니다. 단일 마스크 패턴을 단일 웨이퍼에 정확하게 배치하기 위해 고도로 집중된 자외선 (UV) 광원을 사용하는 레이저 기반 마스크 정렬기 (mask aligner) 입니다. 이 장치는 집적 회로 (IC) 및 기타 전자 장치 제조에 사용됩니다. 이 장비에는 다양한 기능이 있어 다양한 프로세스 (process) 에 적합합니다. 단일 또는 다중 마스크 정렬이 가능하며, 한 마스크 패턴을 다른 마스크 패턴으로 정렬하거나, 스테레오 (stereo) 정렬을 위해 설정할 수 있습니다. 스테퍼 모터 및 갈보 시스템은 높은 정밀 정렬, 정확도 1.5um, 최대 해상도 0.3um을 제공합니다. 시스템은 효율적인 정렬 작업을 수행하며 최소 주기 시간은 1.5 초입니다. 이 장치에는 정확도 향상을 위해 통합 카메라가 있으며, 마스크 등록 및 정렬을 위한 자가 교정 프로젝션 머신 (self-calibrating projection machine) 을 사용합니다. 이 장치에는 빠르고 정확하며 재현 가능한 스캔 모니터 검사를 제공하는 FFI (Full-field Interferometer) 도 있습니다. 또한 레이저 기반 패턴 인식 (pattern recognition) 에셋을 사용하여 빠르고 정확한 프레임 인식 기능을 제공합니다. 또한 정확한 마스크 정렬을 위해 즉석 패턴 조정 (on-the-fly pattern adjustment) 을 수행할 수 있습니다. UV 3000A 는 AIO (All-in-One) 모델로 설계되었으며 운영자가 검증된 제조 프로세스에 필요한 모든 기능을 제공합니다. 이 제품에는 복합 현미경, 비디오 모니터, 조이스틱 컨트롤러 (joystick controller) 가 포함된 내장 광학 장비가 있습니다. 시스템은 사용자 친화적이며, 특정 작업에 대해 1버튼 작동이 가능합니다. 또한 사용자 친화적인 CAD 인터페이스를 통해 빠르고 간단한 작업 정의와 매개변수 설정을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 HTG UV 3000A는 복잡한 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 고급 마스크 정렬기입니다. "마스크 '무늬를 단단히 정렬하고, 품질과 신뢰성을 통해 효율적인 생산이 가능하도록 하는 효율적이고 정밀한 장치" 라고 할 수 있다.