판매용 중고 HTG System 1 Model 84-3 #156406

HTG Equipment 1 Model 84-3은 반도체 마스크 패턴을 다이 칩에 정확하게 정렬하고 노출하도록 설계된 고정밀 마스크 정렬기입니다. 5.5 인치 이미지 필드와 100 미크론 해상도로 최대 5 인치 웨이퍼를 이미징 할 수 있습니다. 단일 축 전동 X/Y 스테이지 및 다중 정렬 센서가 장착되어 있어, 마스크 패턴을 다이 칩에 정확하고 반복적으로 정렬할 수 있습니다. 이 시스템에는 고정식 고강도 UV 소스와 사용자 친화적 인 마이크론 컨트롤러 (micron controller) 를 통해 작동 할 수있는 조정 가능한 셔터 제어 장치 (shutter-control unit) 가 포함되어 있습니다. UV 소스는 장치 패턴의 노출을 가능하게하며, 셔터 제어 머신 (shutter-control machine) 은 패턴 노출 시간을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 자동 로더 (Autoloader) 를 사용하면 수동 작업이 필요 없이 자동으로 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있습니다. 기계의 광학은 수차와 왜곡 (distortion) 을 최소화하도록 설계된 구조가있는 쿼츠 투영 렌즈 (quartz projection lens) 를 특징으로합니다. 조정 가능한 홍채를 사용하면 마스크 노출 과정에서 장치 패턴이 올바르게 조명됩니다. 또한, 광학에는 두 개의 센서 (레티클 인코더 및 다이 칩 인코더) 가 포함되어 있으므로 와퍼에 정확하고 반복 가능한 다이 칩 및 마스크를 배치 할 수 있습니다. 이 기계에는 다양한 환경 보호 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능에는 질소 제거 도구, 다중 필터 팬, 웨이퍼 정렬 제어 에셋 (wafer alignment control asset) 이 포함되어 있어 웨이퍼 및 마스크 정렬이 지속적으로 유지됩니다. 전체 Model 1 Model 84-3은 강력하고 신뢰할 수있는 장치로, 다이 칩에 반도체 장치 패턴을 정확하고 정확하게 노출시킵니다. 다양한 기능과 결합된 사용자 친화적이고 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 고성능 마스크 정렬기를 제공합니다.