판매용 중고 HTG 84-3 #18003

HTG 84-3은 효율적인 photolithography 프로세스를 염두에두고 설계된 최첨단 마스크 정렬기입니다. 이 자동화된 기계는 레이저 기술을 사용하여 얇은 기판에 마스크를 정확하게 정렬하고 에치합니다. 장비는 최대 40 nm 해상도의 패턴을 생성 할 수 있습니다. 기계에는 스테퍼 스테이지 (stepper stage) 와 광학 장치 (optics unit) 로 구성된 자동 패턴 시스템이 장착되어 있습니다. 스테퍼 스테이지 (stepper stage) 는 마스크 패턴 요소를 기판에 정확하게 배치하고 정렬하는 작업입니다. 광학 기계 는 "마스크 '배치 에 필요 한 좌표 를 읽는 데 사용 된다. 또한, 광학 도구 (optics tool) 는 패턴화 과정에서 사용되는 레이저 빔에 초점을 맞추는 데에도 사용됩니다. 84-3 에 사용되는 레이저 기술은 최대 1.78 kW 의 전력 수준에서 작동하는 질소 레이저입니다. 이 "레이저 '는 정밀 기계 부품 으로 매우 정확 한" 패턴' 을 만들어 내도록 설계 되었다. 레이저의 박막 구조는 패턴 정렬 및 에칭 프로세스에서 반복 가능한 정밀도를 보장합니다. 마스크 정렬기는 도구 설정 및 피쳐 인식에 사용되는 소프트웨어에 의해 보완됩니다. 에셋을 사용하면 공구 설정을 프로그래밍하고, 기판 특성을 지정하고, 기판 레이아웃을 등록할 수 있습니다. 패턴 인식 (pattern recognition) 기능을 사용하면 복잡한 공간 피쳐를 식별하고 측정할 수 있으므로 정렬 및 에칭 결과를 최적화할 수 있습니다. HTG 84-3은 유리, 석영, 알루미나 및 기타 박막 기판을 처리 할 수 있습니다. 기계에는 고압 냉각장비가 장착되어 있어 가공의 모든 단계에서 정확성을 보장하고, 최종적인 패턴에서 열 안정성 (thermal stability in the final pattern) 을 제공한다. 또한, 이 시스템은 레이저 절단 공정에서 질소 가스를 사용하는데, 이는 표면 오염을 최소화하고, 공정 속도를 높이고, 패턴화의 고품질 결과를 허용합니다. 전반적으로, 84-3 마스크 정렬기는 오늘날의 photolithography 프로세스의 요구를 충족시키는 강력한 도구입니다. 다용도 레이저 기술, 최첨단 패턴 인식 기능, 박막 처리 (Thin-Film Processing) 옵션 등을 갖춘 이 머신은 생산 프로세스나 연구 노력을 한 단계 끌어올릴 것입니다.