판매용 중고 HTG 36-3 #69873

HTG 36-3은 접촉 석판화를 용이하게하도록 설계된 마스크 정렬 장비입니다. 노출 도구, 개발 도구 및 PAT (Polishing and Alignment Tool) 로 구성된 3 단계 시스템입니다. 노출 도구 (Exposure Tool) 는 마스크를 웨이퍼 서피스에 노출하도록 설계되었습니다. 출력이 웨이퍼의 13 미크론 지점에 중점을 둔 1 kW Xe 램프로 36 도의 고정 각도로 마스크를 스캔하여 작동합니다. 그런 다음 개발 도구 (Development Tool) 는 선택도가 높은 개발자를 사용하여 웨이퍼에 원하는 패턴을 형성합니다. 개발 솔루션의 pH는 원하는 선택성을 달성하기 위해 조정 가능하며, 분당 최대 2 밀리리터 (2 밀리리터) 의 흐름 속도로 Autosyringe Unit에서 제공됩니다. 이 도구 는 또한 "인렛 '과 배기" 에어컨' 과 개발 하는 용액 의 온도 를 유지 하는 "핫플레이트 '를 갖추고 있다. PAT (Polishing and Alignment Tool) 는 노출 도구 (Exposure Tool) 및 개발 도구 (Development Tool) 에 의해 형성된 패턴을 구체화하고 정렬하는 데 사용됩니다. 두 개의 정렬 시스템을위한 두 개의 광학 헤드가 장착되어 있습니다. PAT에는 열 가능한 작업 단계, 제어 두께 기판 테이블 및 이미지 관찰을위한 CCD 카메라가 있습니다. 또한 레이저 간섭계 (laser interferometer) 와 CNC 컨트롤러를 사용하여 기판에 대한 마스크를 정확하게 배치합니다. 또한, PAT는 더 매끄러운 패턴을 보장하기 위해 원하지 않는 입자 또는 산화 층을 제거 할 수있는 연마 기능을 가지고 있습니다. 전체적으로 36-3 (36-3) 은 실리콘 웨이퍼에 복잡한 패턴을 형성 할 수있는 안정적이고 효율적인 마스크 정렬 도구입니다. 이는 회로 패턴의 정밀한 정렬이 필요한 다양한 마이크로 일렉트로닉 장치 제조업체에 유익합니다.