판매용 중고 HTG 314-5 #114653

HTG 314 5 마스크 정렬기 (HTG 314-5 mask aligner) 는 복잡한 전자 장치 생산에 사용되는 마스크 및 레티클의 정확하고 정확한 정렬을 위해 사용되는 자동 장치입니다. 마스크 정렬 (Mask alignment) 은 광 노출을 통해 마스크 또는 레티클 패턴을 기판으로 전송하는 과정 인 사진 해설의 필수 구성 요소입니다. 314-5는 생산성을 극대화하기 위해 설계된 매우 정밀하고 정확도가 높은 마스크 정렬기입니다. 높은 토크 스테핑 모터에 의해 구동되는 이중 독립 10 인치 상승 스테이지와 수동 반복 이미징 사이클을 제거하는 자동 시퀀싱 시스템 (Automated Sequencing System) 이 특징입니다. 또한 정밀 염기 진공 시스템을 갖춘 진공 척 (vacuum chuck) 을 사용하여 평평하고 안정적인 이미징 표면을 보장합니다. 모니터를 통해 라이브 이미지 보기 및 자동 패턴 인식 기능을 사용할 수 있습니다. HTG 314-5는 매우 다재다능한 6 축 전동 조작기를 사용하는데, 이는 X-Y 및 Z축, 회전 이동을 모두 제공하며, 척의 마스크와 레티클을 정확하게 정렬합니다. 314 ~ 5 에는 매우 작은 기질의 물리적 특성을 측정하기위한 고급 광학 현미경이 포함되어 있습니다. 이 현미경은 또한 정렬을 위해 최적의 점을 선택하는 데 사용될 수 있습니다. HTG 314-5는 사전 마스크 어셈블리에 효율적인 장치입니다. 이 기능을 사용하면 패턴 플레이트 (pattern plate) 나 레티클 (reticle) 과 기판을 매우 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한 높은 정렬 정확도를 보장하기 위해 여러 패턴 수정 기능이 있습니다. 이를 통해 빠른 프로토 타입 및 병렬 생산 실행이 가능합니다. 또한 배치 처리 기능이 있으며 여러 작업을 순서대로 실행하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 314-5는 Hitachi High Technologies Group에서 제조 한 고정밀 마스크 정렬 자입니다. 이 장치는 사진 촬영 (photolithography) 프로세스에 사용하도록 설계되었으며, 이 프로세스에 사용되는 마스크 및 레티클의 반복 가능한 높은 정확도 정렬을 제공합니다. 빠르고 정확한 이미징 (Imaging), 여러 수정 기능의 조합을 제공하며 일괄 처리 (Batch Process) 를 실행하도록 프로그래밍할 수 있습니다. HTG 314-5는 패턴 전송의 속도와 정확성을 향상시키기 위해 다양한 마스크 정렬기를 제공합니다.