판매용 중고 HITACHI Hitech #9359868

HITACHI Hitech
ID: 9359868
빈티지: 2010
Exposure machine 2010 vintage.
HITACHI Hitech는 가장 까다로운 PVD (Physical Vapor Deposition) 및 Photolithography 프로세스를 위해 설계된 고성능 마스크 정렬기입니다. 하이테크 (Hitech) 는 모든 기능을 통해 대규모 운영 실행부터 정확한 에칭 (etching) 및 패턴 (patterning) 작업까지 다양한 어플리케이션을 수행하는 데 이상적입니다. HITACHI Hitech는 고급 마스크 정렬 기술과 고급 옵티컬 구성 요소, 정밀한 마이크로미터 제어 동작 단계를 결합하여 일관된 결과를, 반복 가능한 정확도로 제공합니다. 이 장비는 정확하고 정확한 마스크 정렬을 위해 최대 0.1 미크론 증분까지 이동할 수있는 고급 X-Y 단계를 특징으로합니다. 또한 Hitech은 여러 레이어 정렬을 효율적이고 시간 절약적인 방식으로 수행하기 위한 지속적인 비 진공 인덱싱 (Non-Vacuum Indexing) 기술을 통합했습니다. HITACHI Hitech (HITACHI Hitech) 는 또한 매장 된 채널 기술을 통해 우수한 웨이퍼 균일성을 제공하여 모든 웨이퍼 표면에서 일관된 에치 속도를 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, 시스템에는 패턴의 가장 작은 세부 사항조차도 감지하고 웨이퍼 표면을 검사하여 최고 수준의 교정 (Organic Confocal Imaging) 기술이 장착되어 있습니다. 히테크 (Hitech) 는 혁신적인 기능으로 강력한 전동식 모터 유닛 (Motorized Motor Unit) 및 맞춤형 트랙 구성 요소로 스테퍼 통합 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 레이아웃을 통해 사용자는 뛰어난 프로세스 균일성과 독보적인 제품 품질을 얻을 수 있습니다. 또한, 기본 제공되는 10 배 측정 기능을 통해 데이터를 쉽게 기록, 분석하여 최적화된 레이어 증착을 구현할 수 있습니다. 일체형 패키지인 HITACHI Hitech 에는 다양한 애플리케이션을 지원하는 다양한 구성 요소가 포함되어 있습니다. 이 기계는 3D 전송 (Transmittance) 정렬 작업을 위한 다양한 샘플 단계와 고성능 (HPO) 을 보장하는 전용 지원 구성 요소 배열을 제공합니다. 또한, 이 장치에는 패턴 오버레이 정렬 (pattern overlay alignment) 및 샘플의 정확한 인식에 대한 최고 수준의 정확도를 제공하는 고급 비전 (advanced vision) 도구가 표준으로 제공됩니다. 전반적으로, Hitech는 다양한 PVD 및 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 고급 마스크 정렬 자입니다. HITACHI Hitech는 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 결과를 제공함으로써, 최적의 에칭 및 레이어 증착 정확도를 달성할 수 있는 탁월한 성능을 제공합니다. 히테크 (Hitech) 는 종합적인 기능과 구성요소를 갖춘 업계를 선도하는 많은 제조업체가 선호하는 마스크 조정자입니다.
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