판매용 중고 EVG / EV GROUP IQ Aligner #293735310
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ID: 293735310
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 2007
Mask aligner, 6"-8"
Maximum separation: 300 µm
Thickness:
Mask aligner: 0.1 - 10 mm
Bond aligner: 0.1 - 3 mm
Alignment:
X,Y Range +/- 5 mm
Rotation: Theta +/- 3.5°
3-Axis joystick
Resolution: 0.06 µm
Mask aligner: 0.5 µm
Bond aligner: 0.5 µm
Exposure modes:
Hard contact
Soft contact
Vacuum contact
Vacuum + Hard contact
Proximity
Microscope objective range:
Top side:
X: 30 - 130 mm
Y: +/- 65 mm - 150 mm
Z: +/- 3 mm
Bottom side:
X: 30 - 100 mm
Y: +/- 12 mm
Z: +/- 5 mm
Monitor / Camera:
Power supply: 350 -500 W
2007 vintage.
EVG/EV GROUP IQ Aligner는 매우 정밀하고 높은 처리량 반도체 리소그래피 어플리케이션을 위해 설계된 최첨단 마스크 정렬 장치입니다. 이 고급 도구는 최첨단 정렬 (state-of-art) 및 노출 (exposure) 기술을 통합하여 뛰어난 제어 및 반복 기능을 갖춘 다양한 기판의 기능을 정확하게 패턴화할 수 있습니다. EVG IQ Aligner 의 주요 기능 중 하나는 고급 정렬 기능입니다. 이 시스템은 고해상도 정렬 카메라와 현미경을 활용하여 마스크 (mask) 와 기판 (기판) 을 정확하게 정렬합니다. 이렇게 하면 최소한의 오버레이 오류로 패턴이 기판에 정확하게 전송됩니다. 정렬 프로세스는 완전히 자동화되어 수작업 (manual intervention) 의 필요성과 석판 처리 (lithography process) 의 전반적인 효율성을 증가시킵니다. EV GROUP IQ Aligner는 또한 다양한 리소그래피 요구 사항을 수용하기 위해 다양한 노출 모드를 제공합니다. 이 장치는 근접, 소프트 (soft), 하드 (hard) 및 진공 접촉 (vacuum contact) 노출 모드를 지원하므로 특정 애플리케이션 요구에 따라 가장 적합한 노출 기술을 선택할 수 있습니다. 이 노출 모드를 통해 기계는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer), 유리 기판 (glass 기판), 유연 기판 (flexible 기판) 을 포함한 다양한 기판을 처리 할 수 있으며, 다양한 반도체 제작 프로세스에 대한 다재다능한 솔루션입니다. IQ 알리너 (IQ Aligner) 는 고급 정렬 및 노출 기능 외에도 프로세스 유연성과 제어를 향상시키기 위해 설계된 여러 가지 혁신적인 기능을 갖추고 있습니다. 이 도구에는 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) 및 로드 (loading) 기능과 소프트웨어 제어 노출 매개변수가 포함되어 있어 리소그래피 프로세스를 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 운영자는 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정하여 최적의 성능과 재현성을 보장할 수 있습니다. 또한, EVG/EV GROUP IQ Aligner는 빠른 노출 시간과 효율적인 기판 처리 메커니즘을 갖춘 높은 처리량 생산 환경을 위해 설계되었습니다. 이 자산은 높은 해상도와 균일성 (unifority) 으로 기판의 넓은 영역을 패턴화할 수 있으며, 반도체 소자의 대량 생산에 이상적입니다. 견고한 구성 요소와 고품질 구성 요소는 까다로운 제조 환경에서도 장기적인 안정성과 안정성을 보장합니다 (영문). 전반적으로 EVG IQ Aligner는 반도체 리소그래피 애플리케이션을 위한 최첨단 솔루션으로, 탁월한 정밀도, 안정성 및 유연성을 제공합니다. 공정 제어 (Process Control) 와 자동화 (Automation) 를 위한 혁신적인 기능과 결합된 첨단 정렬 및 노출 기술로, 뛰어난 생산성과 효율성을 갖춘 고품질 패턴화 (Patterning) 결과를 얻고자 하는 반도체 제조업체에게 귀중한 도구입니다. EV 그룹 IQ 알리너 (EV Group IQ Aligner) 는 탁월한 성능과 고급 기능을 통해 업계의 반도체 리소그래피 프로세스를위한 최고의 선택이 될 수 있습니다.
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