판매용 중고 EVG / EV GROUP EV 640R #9175004

EVG/EV GROUP EV 640R Mask Aligner는 광자, 전자 및 나노 기술 구성 요소의 대용량 생산을 위해 기판과 마스크 패턴 사이의 정확한 정렬을 제공하기 위해 설계된 고급 도구입니다. EVG EV 640R은 반도체, MEMS 및 NEMS 생산, 광학 리소그래피, 미세 유체 제작 및 기타 나노 기술 중심 산업 공정에 적용하기에 적합합니다. EV GROUP EV 640R Mask Aligner는 장기 안정성과 결합 된 회절 제한 완벽하게 최대 6.4 "x 6.4" 기판의 정확하고 높은 정확도를 제공합니다. EV 640R은 2 개의 독립적 인 궤도 모터를 사용하여 위치 지정 (optimized positioning) 과 기판 및 마스크 패턴을 빠르고 정확하게 정렬합니다. 이를 통해 저가형 사진 촬영 (photolithography) 프로세싱을 수행할 수 있으며, 최대 해상도의 기능은 더 적은 시간과 에너지 소비로 달성할 수 있습니다. EVG/EV GROUP EV 640R은 나노 미터 정렬 해상도가 필요한 산업 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 시스템은 자동 초점 광 감지 (optical sensing) 를 사용하여 생산 공정에서 70nm 이하의 자동 범위 정렬 정확도를 제공합니다. 마스크 및 기판의 정확한 정렬 외에도, EVG EV 640R (EVG EV 640R) 을 사용하여 기판의 여러 점 사이의 거리를 정확하게 측정 할 수 있습니다. EV GROUP EV 640R은 정확하고 안정적인 보호 알고리즘과 높은 정확도 패턴 정렬 인식을 사용합니다. 이를 통해 기판의 패턴과 마스크는 항상 합동됩니다. 이 시스템에는 기판과 마스크 사이의 정확한 평면 화를위한 특허받은 인덱싱 (indexing) 및 레벨링 (leveling) 기술도 제공됩니다. 정렬 정확도 외에도 EV 640R에는 생산성 향상을 위한 다양한 옵션이 있습니다. 여기에는 자동 웨이퍼 클램핑, 정밀 오버레이를위한 높은 정확도 빔 제어, 부드러운 기판을 부드럽게 다룰 수 있도록 최적의 진공 제어 (vacuum control) 가 포함됩니다. EVG/EV GROUP EV 640R은 빠른 생산률과 높은 신뢰성을 제공합니다. 대규모 작업 영역, 확장 가능한 설계, 빠른 마스크 변경으로 인해 EVG EV 640R은 빠른 처리량과 정확성이 필요한 생산 프로세스를위한 귀중한 장비 중 하나입니다. 이 시스템은 대형 터치 스크린 디스플레이와 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있으며, EV GROUP EV 640R (EV GROUP EV 640R) 은 운영 효율성을 향상시키려는 사람들에게 적합한 선택입니다.