판매용 중고 EVG / EV GROUP EV 640 #9287507

EVG/EV GROUP EV 640은 반도체 및 집적 회로 장치의 제작에 사용하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼 및 마스크 알리그너 장비입니다. 이 시스템은 완전하게 자동화되고 다양한 마스크 정렬 플랫폼을 갖추고 있어, 빠르고 효율적인 생산이 가능합니다. 이 장치는 특히 통합과 레이어 수가 많은 디바이스 (device) 의 생산에 유용합니다. EVG EV 640 기계는 여러 정렬에 사용할 수 있으며 오버레이는 1äm까지 정확합니다. 그 패턴과 감광 물질은 다양한 기질의 처리를 지원합니다. 예를 들어, 이 도구의 스캔 해상도는 1nm이고 플랫폼 해상도는 0.1 미크론입니다. 이 자산에는 다양한 고급 기술 (Advanced Technology) 이 통합되어 최고의 품질과 균일성을 보장합니다. 여기에는 5 미크론만큼 얇은 기판에 배치하는 영역/라인 센서, 12 인치 크기의 기판에 정렬하는 영역/라인 센서, 가장자리가없는 다기능 프레임 보정기 전용 마이크로 테크놀로지, 고속 다이 인식 모델 (die-by-die recognition model). 이 장비에는 전자 배율 어댑터 (Electronic Magnification Adapter) 와 광학 측정 시스템 (Optical Measurement System) 이 포함되어 있어 생산 과정에서 균일성을 높일 수 있습니다. 이러한 기능과 더 많은 것이 장치의 높은 처리량 (high throughput) 에 기여하여 더 빠르고 정확한 프로세스를 지원합니다. 자동화된 제어를 통해, 시스템은 처리량을 최적화하여 특정 운영 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. 이 툴에는 전체 서비스 소프트웨어 패키지 (full-service software package) 와 하드웨어 인터페이스 (hardware interface) 가 포함되어 있어 운영 데이터를 신속하게 액세스하고 가상 프로토타입을 생성하고 운영 프로세스의 자동 업데이트를 받을 수 있습니다. 자동 제어 (Automated Control) 소프트웨어는 정렬 프로세스를 단순화하여 작업을 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. EV GROUP EV 640은 고급 기술 덕분에 향상된 정확성과 생산성을 제공합니다. 고밀도 (high-precision) 결과와 생산시간을 단축할 수 있는 능력을 갖춘 이 자산은 효율적이고 대용량 (high-volume) 생산에 적합합니다.