판매용 중고 EVG / EV GROUP 640 #9200554

EVG/EV GROUP 640은 완전 자동화 된 멀티 챔버 마스크 정렬 자입니다. 정밀 광학, 마이크로 일렉트로닉스 및 반도체 장치의 제작에 사용됩니다. 이 정렬기는 최소 왜곡과 정밀한 정렬 정확도를 달성하는 패턴 배치 (pattern placement) 및 오버레이 (overlay) 를 위한 정밀 도구입니다. 9 마이크로 미터 배치 정확도와 10 nm 오버레이 정확도를 달성 할 수 있습니다. 이 고급 마스크 정렬기는 직경 6 개의 프로젝션 렌즈, 25nm 해상도의 로봇 X-Y-Z 스테이지 및 3 개의 고해상도 디지털 카메라를 포함한 다양한 코어 구성 요소를 갖추고 있습니다. 이 장치는 실행당 최대 3 개의 마스크를 처리 할 수 있으며, 2 개의 노출 모드 (단일 및 멀티 샷) 가 있으며, 모든 레이어를 빠르고 정확하게 노출 할 수 있습니다. 기계의 낙인 전송 (stigmas transfer) 기능을 사용하면 레벨 간 오프셋을 적극적으로 보상하여 정렬 정밀도를 최적화할 수 있습니다. 1 회 및 2 회 노출 모두에 대해 6 구역 정렬을 제공합니다. 이 장치에는 정전기 척 평면 및 모니터링, 제로 라인 이동 기능을 사용한 빠른 마스크 교환, 다양한 자동 웨이퍼 및 마스크 처리 기능, 낮은 입자 증착 (low-particle deposition) 등 다양한 통합 기능이 포함되어 있습니다. 또한 멀티레이어 듀플렉스 스페이서 정렬 기판과 작업당 최대 4 개의 정렬 신부 (fiducials) 를 노출 할 수 있습니다. EV GROUPEVG 640은 패턴 배치 및 오버레이를위한 강력하고 정확한 도구입니다. 정밀 광학, 전자 및 반도체 장치를 생산하기위한 효율적인 프로세스를 제공합니다. 강력한 기능을 갖춘 이 제품은 고정밀 마이크로패브레이션 (microfabrication) 요구 사항을 충족하는 안정적인 솔루션입니다.