판매용 중고 EVG / EV GROUP 640 #293809531

EVG / EV GROUP 640
ID: 293809531
Mask aligner.
EVG/EV GROUP 640 (EVG/EV GROUP 640) 은 광석기 처리 과정에서 사용되는 마스크에 대한 패턴의 정확한 배치 및 정렬에서 높은 정확성과 정밀도를 제공하는 마스크 정렬기입니다. 이 하드웨어는 작은 크기로 인해 최소한의 공간과 리소스가 필요하며, 다중 (Multiple) 구성으로 인해 다양한 사진 해설법 (Photolithography) 작업에 매우 적합합니다. EVG 장비는 일련의 디지털 광학 (digital optic) 과 정밀 스캔 단계를 갖춘 광학 빔 플랫폼을 기반으로합니다. 이 플랫폼은 전동 간트리, XY 스캐닝 스테이지 및 Z축 스테이지에 장착 된 광학 객체로 구성됩니다. 각 단계는 독립적이며, 사용 중인 마스크를 정확하게 배치하는 데 사용할 수 있습니다. 객관에는 조정 가능한 미러 (adjustable mirror) 가 장착되어 있어 다양한 패턴 모양에 대한 최적의 이미징 스팟 (imaging spot) 크기를 만들 수 있습니다. 또한 EVG 640에는 매우 정밀한 수동 X-Y 정렬 테이블 (X-Y Alignment Table) 이 있어 특정 요구 사항에 맞게 마스크의 패턴 정렬을 수동으로 조정할 수 있습니다. 또한 x-y 정렬 테이블에는 "no-tool (도구 없음)" 제품 기능이 장착되어 있어 어떤 도구를 사용하지 않고도 마스크를 조정하고 다시 정렬할 수 있습니다. EV GROUP 640 정렬기를 실행하는 소프트웨어는 직관적이고 사용하기 쉽습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface, GUI) 가 있으며 다양한 응용 프로그램에서 쉽게 조정하고 작동할 수 있습니다. 640은 견고한 시스템이며 서브 미크론 정렬 정확성과 반복 성을 생성 할 수 있습니다. 또한 수동 로딩 또는 로봇 로딩 장치 중 하나를 선택할 수 있습니다. 로봇 로더를 사용하면 다중 정렬 작업을 빠르고 쉽게 수행할 수 있으며, 설정시간 (setup time) 을 최소화하면서 사진 촬영 (photolithography) 작업을 빠르고 효율적으로 완료할 수 있습니다. 전반적으로, EVG/EV GROUP 640은 마스크 상의 패턴을 정확하게 포지셔닝 및 정렬해야 하는 모든 photolithography 응용 프로그램에 적합한 선택입니다. 소형 디자인 (compact design) 과 낮은 오버 헤드 (overhead) 가 특징이며, 사진 해설을 위해 빠르고 정확한 마스크 포지셔닝이 필요한 모든 운영 또는 비즈니스에 이상적입니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 로봇 로딩 장치 (robotic loading machine) 및 공구 없음 (no-tool) 기능이 효율적이고 효과적인 작동을 보장하므로 거의 모든 사진 해설이 필요한 완벽한 선택입니다.
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