판매용 중고 EVG / EV GROUP 640 #293771584

ID: 293771584
웨이퍼 크기: 4"-8"
Mask aligner, 4"-8" BSA Non functional robot module Backside alignment Joystick Operating system: Windows 2000 UV LED Light intensity: 365 nm 45 mW / cm2 405 nm 55 mW / cm2.
EVG/EV GROUP 640은 광석기 공정에 반도체 산업에서 널리 사용되는 다재다능한 마스크 정렬 자입니다. 이 정밀 도구는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에서 포토 esist의 정확한 패턴을 가능하게함으로써 반도체 장치 생산에 중요한 역할을합니다. EVG 640은 최대 200mm 크기의 다양한 기판을 처리하도록 특별히 설계되었으며, 이는 연구 및 생산 환경 모두에서 인기있는 선택입니다. EV GROUP 640의 주요 기능 중 하나는 높은 수준의 자동화 및 정밀도입니다. 이 장비에는 고급 정렬 (Advanced Alignment) 및 노출 (Exposure) 기능이 장착되어 있어 사용자가 서브 미크론 정렬 정확도를 달성 할 수 있습니다. 이것은 현대 반도체 제작 프로세스에 필요한 엄격한 공차를 달성하는 데 필수적입니다. 640은 또한 기판 재료 측면에서 다재다능성을 제공하여 실리콘 (silicon), 유리 (glass), 복합 반도체 (compound semiconductor) 등 다양한 재료를 사용할 수 있습니다. 마스크 정렬 자 (mask aligner) 는 포토리 스토 그래피 (photolithography) 의 원리로 작동하는데, 여기에는 포토 마스크에서 포토 esist로 코팅 된 기판으로 패턴을 전송하는 것이 포함됩니다. EVG/EV GROUP 640은 절연 UV 광원을 사용하여 광소시스트를 노출시켜 기판 전체에 균일하고 정확한 패턴화를 보장합니다. 이 시스템은 근접 모드와 접점 노출 모드 (Contact Exposure Mode) 를 모두 처리할 수 있으므로 사용자가 특정 응용 프로그램에 가장 적합한 모드를 선택할 수 있는 유연성을 제공합니다. EVG 640은 정렬, 노출 기능 외에도, 생산성 및 사용 편의성을 향상시키는 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 가 포함되어 있어 정렬 및 노출 매개변수를 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 또한 자동화된 조정 및 노출 프로세스를 위한 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 기능이 포함되어 있어 수작업 (Manual Intervention) 의 필요성을 줄이고 전반적인 처리량을 향상시킵니다. EV GROUP 640의 주요 장점 중 하나는 모듈성과 유연성입니다. "머신 '은 여러 가지" 응용프로그램' 의 특정 한 요구 조건 을 충족 시키도록 쉽게 구성 할 수 있으며, 이 "머신 '은 광범위 한 연구 와 생산 환경 을 위한 다용도 도구 가 된다. 사용자는 다양한 옵션 모듈 (옵션) 과 액세서리 (액세서리) 중에서 선택하여 고유한 요구 사항에 맞게 도구를 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 640 마스크 정렬기는 반도체 업계의 고정밀도 포토 리토 그래피 (photolithography) 프로세스에 적합한 강력한 도구입니다. 고급 정렬 및 노출 기능, 다양한 기판 재료 처리 다용성, 사용자 친화적 인 인터페이스 인 EVG/EV 그룹 640 (EVG/EV GROUP 640) 은 최대 200mm 크기의 기판에 대한 정확한 패턴을 달성하려는 반도체 제조업체 및 연구자에게 귀중한 자산입니다. 자동화 기능 (automation features) 과 모듈성 (modularity) 을 통해 다양한 애플리케이션에 적응할 수 있는 다용도 툴로, 업계에서 널리 사용되는 솔루션입니다.
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