판매용 중고 EVG / EV GROUP 640 #293689618

EVG/EV GROUP 640은 미크론 및 서브 미크론 반도체 구조의 정밀 인쇄를 위해 설계된 마스크 정렬 자입니다. 레티클 (reticle) 에서 웨이퍼 (wafer) 로 패턴을 전송하는 데 사용되는 광학 리소그래피 도구의 유형입니다. DRAM, 논리 및 혼합 신호 설계와 같은 복잡한 구조의 DSM (Deep Submicron) 기능을 인쇄하는 데 이상적입니다. EVG 640은 해상도 0.5 ° m 및 오버레이 정확도 0.25 -m의 풀 필드 정렬 자입니다. 이 도구의 전 세계 오버레이는 +/2 "m, 로컬 오버레이는 +/1" m입니다. EV 그룹 640 (EV GROUP 640) 은 하향식 프로젝션 장비로 설계되어 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 이 도구는 1 개의 레이어를 4 배, 5 배 또는 6 배 레이저 감소시 30 개의 레이어 레티클로 인쇄 할 수 있습니다. 레이저 스팟 크기는 0.3 "m, 필드 크기는 16" × 16 ", 웨이퍼 크기는 14" × 14 "입니다. 이 도구에는 마이크로 월 (Micro-Wall) 과 화이트 월 (White-Wall) 이미징 기술이 모두 장착되어 전체 웨이퍼에 걸쳐 높은 수준의 초점 균일성을 제공합니다. 또한, 이 도구는 시스템 구성에서 높은 수준의 유연성을 갖습니다. 높은 프로세스 반복성, 재현성을 보장하고 다양한 요구 사항에 대한 다양한 노출 옵션을 제공하도록 보정할 수 있습니다 (영문). 640은 작동 및 유지 관리가 쉽습니다. 스마트 오퍼레이터 인터페이스 디스플레이 (Smart Operator Interface Display) 를 통해 유닛의 성능을 모니터링하고 매개변수를 설정하고 노출을 조정할 수 있습니다. 이 도구는 또한 노출 위험을 최소화하고 오염 가능성을 줄이기 위해 다양한 안전 (Safety) 기능으로 설계되었습니다. 전반적으로 EVG/EV GROUP 640은 미크론 및 서브 미크론 구조의 정밀 인쇄를 제공하는 고급 광학 석판화 도구입니다. DRAM, 논리, 혼합 신호 설계에 이상적이며, 시스템 구성에서 뛰어난 유연성을 제공합니다. 이 도구는 작동이 쉽고 유지 관리되며, 다양한 안전 (Safety) 기능을 제공하여 품질과 정확성을 보장합니다.