판매용 중고 EVG / EV GROUP 640 #293639247

EVG/EV GROUP 640은 반도체 제작에 사용되는 포토 마스크의 효율적인 패턴, 정렬 및 노출을 위해 설계된 자동 마스크 정렬 자입니다. EVG 640은 쿼츠 (quartz) 및 크롬 온 쿼츠 (chrome-on-quartz) 포토 마스크 (photomask) 를 모두 사용하여 작업할 수 있으며, 다양한 프로세스에서 모든 크기 또는 모양의 마스크 패턴을 유연하게 만들 수 있습니다. EV GROUP 640은 미크론 수준의 정확도를 가진 2 개의 gantry robotic 시스템을 사용하여 photomask를 기판에 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이 장치는 하나의 노출 (exposure) 내에서 각도 및 위치 (position) 에 맞게 개별 마스크를 조정하여 보다 유연하고 강력한 포지셔닝 성능을 제공합니다. 리니어 모터 구동 포지셔너 (Linear Motor Driven Positioner) 는 전체 커버리지 고해상도 인코더와 결합하여 포토 마스크 정렬에 높은 수준의 정확성과 안정성을 제공합니다. 640은 편리하게 액세스할 수 있는 다양한 기능을 갖춘 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 효율적인 작업 프로세스를 보장하고 사용자 오류를 최소화합니다. 직관적인 컨트롤러 (레이어 정의 기능, 차등 마스크 배치 정확도 및 프로세스 복구 기능 포함) 가 특징입니다. 또한 최고의 용량을 임계 치수 (critical dimension level) 로 유지하기 위해 원활하게 조정 가능한 프로그래밍 가능한 다중 레벨 빔 프로파일이 포함됩니다. EVG/EV GROUP 640에는 결함 검사, 프로세스 제어, 데이터 수집, 분석 등 다양한 기능을 제공하는 고급 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 소프트웨어는 각 마스크에 대한 최적의 노출 범위, 노출 시간, 조명 각도, 패턴 확대 (pattern magnification) 등의 노출 매개 변수를 결정합니다. 또한 기판 보상, 용량 지연 시간, 다중 게이트 기능 등 다양한 유형의 작업을 쉽게 실행할 수 있습니다. 전반적으로, EVG 640은 다양한 기판 및 공정에서 포토 마스크 (photomask) 의 고정밀 정렬 및 노출을 위해 설계된 강력하고 고급 마스크 정렬기 (advanced mask aligner) 입니다. 세련된 소프트웨어와 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 생산적이고 효율적인 마스크 정렬 및 노출 프로세스에 필요한 성능과 사용 편이성을 제공합니다.