판매용 중고 EVG / EV GROUP 6200 #9223335
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판매
ID: 9223335
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2006
Mask aligners, 8"
Manual wafer load mask aligner (TSA+BIR)
With mask holder: 9”x 9”
Exposure mode: Soft contact / Hard contact / Vacuum contact
Lamp house: 1000 W
Range of alignment: X, Y: +/- 5 mm
Rotation: Theta +/- 3.5°
Actuated by analog 3 axes joystick
Resolution: 0.06 μm
Movements: Motorized
Alignment accuracy:
Top side alignment: 0.5 μm (With 20x objective)
Top to bottom side alignment: 1 μm (With 20x objective)
2110C2-E Radiation power system
Anti vibration table: 1000 W
User interface: Microsoft Windows based
Monitor screen
System PC
Keyboard
Cables
Joysticks
UPS
Operations manual
2006 vintage.
EVG/EV GROUP 6200 마스크 정렬기는 MEMS, 반도체 및 평면 패널 디스플레이 장치의 제작에 사용되는 사진 촬영 및 박막 정렬 프로세스를위한 고도의 고급 도구입니다. 이 장비는 x, y 및 z 축의 정밀 이동을 사용하여 마스크 (또는 스텐실) 및 기판 레이어의 최상의 정렬을 달성하도록 설계되었습니다. EVG 6200 마스크 정렬기는 평면 내 및 평면 외 정렬 기능을 특징으로하며, 위치 정도는 축당 0.5äm입니다. 또한, 정확히 배치하기 위해 정렬 지점과 노드 인식 (nodal recognition) 을 갖춘 고해상도 카메라 시스템이 특징입니다. 또한 직경이 최대 110mm 인 표준 외부 광학 및 진공 척과도 호환됩니다. 인체공학적으로 설계된 통합 워크스테이션에는 장치 온칩 처리, 고속 비동기 제어 및 고급 사용자 인터페이스가 포함됩니다. 모든 구성 요소는 통합 산업용 알루미늄 하우징에 통합되어 있으며, 진동이없는 공기 마운트 위에 앉아 탁월한 안정성을 제공합니다. 이 기계는 작업을 단순화하고 반복 정확성과 제품 균일성을 보장하는 자동 교정 (auto-calibration) 기능으로 설계되었습니다. 또한, 가변 노출 조정 및 프로파일을 가능하게 하는 자동 노출 기능이 포함되어 있습니다. 생산성을 극대화하기 위해 고성능 수동 인덱싱 테이블 (manual indexing table) 과 작업 상태 알림 (operation status notification) 을 통합하여 효율적인 디바이스 처리를 보장합니다. EV GROUP 6200 마스크 정렬기는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 고객의 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 쉽게 구성할 수 있습니다. 6200 마스크 정렬기 (mask aligner) 를 사용하면 패턴에 따라 기판을 정확하게 정렬할 수 있으며, 선 너비를 줄이고 피쳐를 잘못 정렬할 수 있습니다. 매우 정확한 위치 및 회전 피드백 머신 (rotation feedback machine) 은 최소 정렬 오류를 보장하여 원하는 인쇄물을 제공합니다. 이 도구는 다양한 열가소성, 저열 전도성 재료, 인쇄용 금속, 정확도가 높은 패드 및 비아 (vias) 와 호환됩니다. 게다가, 이 도구는 에너지 효율성이 높아 에너지 비용을 절감하고 환경 품질을 유지하는 데 도움이 됩니다.
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