판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9276216

EVG/EV GROUP 620은 사진 분석 응용 프로그램을 위해 설계된 마스크 정렬 장치입니다. 마이크로일렉트로닉 부품 (예: 집적 회로) 을 만들고 인쇄하는 과정에서 사용됩니다. 시스템은 10nm 크기의 기능으로 인쇄할 수 있습니다. 이 장치는 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 정렬자 및 마스크 프로세서. Aligner에는 큰 X-Y 동력 스테이지와 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 같은 포토레스 코팅 기판에 패턴을 투영하는 프로젝터가 있습니다. 마스크 프로세서 (Mask Processor) 에는 회전 가능한 6 축 로봇 암, 가스 배달기, 공정 가스 모니터 및 마스크 저장 및 로딩 도구가 포함되어 있으며 최대 25 개의 다른 마스크와 5 개의 기판을 보관합니다. 에셋의 정렬 정확도는 높으며, 평균 정렬 오류는 1.2um 이하이며, 광학 필터 모델 (optical filter model) 은 균일 한 노출을 보장합니다. 알리 너 (Aligner) 에는 마스크 정렬 중 정밀도를 높일 수있는 진공 장비가 내장되어 있으며, 이는 공기 감수성을 줄이는 데 도움이됩니다. 이 시스템은 사용자가 쉽게 마스크 설계, 수정, 제작할 수 있는 제어 소프트웨어 (Control Software) 를 통해 사용자 친화적으로 설계되어 기판 양쪽에 있는 패턴을 정확하게 인쇄할 수 있습니다. 또한, "기판 '을 보다 효율적 으로 청소 하고 굽을 수 있는 진공 장치 도 포함 된다. EVG 620은 기본 패턴 인쇄에서 마이크로 부품의 3D 인쇄, 고급 회로 제작을위한 열 및 전자 빔 리소그래피 (thermal and electron beam lithography) 에 이르기까지 광범위한 응용 프로그램을 갖추고 있습니다. 높은 정확성, 유연성, 사용자 친화적 제어 소프트웨어 (user-friendly control software) 는 산업 수준의 프로토 타입뿐만 아니라 연구 및 교육 프로젝트에 적합합니다. 또한 공정 을 더 잘 제어 하기 위해 진공 "컨테이너 '와 같은 다른 장비 들 과도 쉽게 통합 할 수 있다.