판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9276197

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ID: 9276197
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2004
Mask aligner, 6" Top side and bottom optic module Manual spindle alignment stage Hg UV Lamp: 1000 W 2004 vintage.
EVG/EV GROUP 620 Mask Aligner는 고해상도 포토마스크 리소그래피 응용 프로그램 생산을 위해 완전히 자동화된 독립형 마스크 정렬 자입니다. 이 제품은 사용 편의성과 효율적인 작동을 염두에 두고 설계되었으며, 최소한의 노력으로 고품질의 포토마스크 (photomask) 를 만들 수 있습니다. 앨리너는 최신 광학 표면 이미징, 광학 왜곡 보정 및 레이저 안정화 된 프로버 (prober) 기술을 활용하여 화면 비율이 높고 정렬 오류가 최소화되어 매우 정확한 감광 인쇄판을 생성합니다. 이를 통해 정렬 정밀도가 0.1äm 이상인 결정 수준 기능을 사용할 수 있습니다. 또한 EVG 620 Mask Aligner는 사전 조정에서 사후 측정 및 검증에 이르기까지 고급 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 주사 전자 현미경 (scanning electron microscope) 은 오류 보정을 위해 포함되어 있으며, 마스크 표면을 평가하기 위해 다양한 검사 도구를 사용할 수 있습니다. 프로세스의 성능을 극대화하기 위해 프로세스의 매개변수 (parameters) 를 자동으로 조정할 수 있습니다. 또한 EV GROUP 620 Mask Aligner (EV 그룹 620 마스크 조정기) 는 정렬당 1분의 정렬 속도로 시중에서 사용할 수 있는 다른 마스크 정렬기에 비해 상당히 빠르도록 설계되었습니다. 시스템을 PC에 연결할 수도 있는데, 이를 통해 시스템의 원격 액세스 (Remote Access) 와 제어 (Control) 를 수행할 수 있습니다. 620 마스크 정렬 (Mask Aligner) 은 명확한 기하학적 모양으로 매우 정확한 웨이퍼 기판을 생성 할 수 있습니다. 이 외에도 고해상도 (High Resolution) 와 저분산 이미징 (Low Distersion Imaging) 기능을 갖추고 있어 고급형 포토마스크 조각 어플리케이션에 적합합니다. EVG/EV GROUP 620 Mask Aligner (EVG/EV 그룹 620 마스크 조정기) 는 효율적이고 정확한 마스크 조정기를 찾는 사용자에게 이상적인 선택으로, 높은 정밀도 수정, 고급 프로세스 제어 기능 및 빠른 정렬 속도를 제공합니다.
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