판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9268449

EVG/EV GROUP 620은 정밀 사진 해설을 위해 설계된 최첨단 마스크 정렬기입니다. 고급 자동화, 서브 미크론 정렬 정확도 및 넓은 덮개 영역이 특징입니다. 이 장비에는 최대 처리량을 제공할 수있는 4 인치 (10cm) 풀 필드 스캐너가 있어 시간당 최대 500 개의 프로시저가 가능합니다. 특허를 받은 VMA (Vertical Machine Alignment) 기능은 지형 표면의 차이가 큰 구조에서도 평평한 평면을 보장하여 전례없는 직접 쓰기 (direct-write) 및 오버레이 성능을 제공합니다. 이 시스템은 모듈식 (modular) 과 확장성이 뛰어나 사용자의 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 다양한 구성 (configuration) 을 제공합니다. 즉, 단순한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 나 높은 처리량과 자동화를 제공하는 임베디드 컴퓨터 네트워크를 통해 작동할 수 있습니다. EVG 620 에는 두 가지 주요 구성 요소, 즉 "알리그너 '를 위한 주" 프레임' 과, 장치 와 상부 "스캐너 '와 하부" 스캐너' 간 에 빠른 데이터 전송 이 가능 한 변환 전자 제품 "패키지 '가 있다. 액추에이터 기반 광학 머신은 마스크 스탬프를 웨이퍼에 빠르고 정확하게 정렬합니다. 이 도구는 프로그래밍 가능한 빔 스캐너 스테이지와 임베디드 레이저 간섭계 (embedded laser interferometer) 자산을 통합하여 서브 미크론 정렬 정확도를 활성화합니다. EV GROUP 620 은 마스크 및 웨이퍼에 오버레이 마크를 배치하고 직접 쓰기 (direct-write) 레이어를 생성하는 데 사용될 수 있습니다. 직접 쓰기 프로세스의 경우, 모델은 가변 노출 수준을 제공 할 수 있습니다. 포토 esist, oxide 및 nitride를 포함한 다양한 재료와 호환됩니다. 이 장비는 엄격한 품질 관리 표준 (Quality Control Standard) 으로 제조되어 모든 주요 반도체 파운드리의 요구 사항을 충족합니다. 정밀 사진 해설을 위한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 솔루션입니다.