판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9261506

EVG/EV GROUP 620은 nanolithography, 특히 photolithography에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 반도체 패턴화 기구로, 선 (line) 과 비아 (vias) 와 같은 패턴을 기판에 정확하게 옮기고 정렬할 수 있다. EVG 620 의 주요 구성 요소 는 광학 열, "레이저 '조절 장치 및" 웨이퍼' 단계 이다. 알리그너 EV 그룹 620 (Aligner EV GROUP 620) 의 광학 열은 다양한 마스크 및 레티클을 통해 빛을 투영할 수 있으며, 이는 패턴을 기판으로 전달하는 데 사용됩니다. 또한 "칼보 '거울 과 같은 빛 전달 과" 릴레이' 광학 이 들어 있는데, 이것 은 빛 의 본 을 기판 위 로 이동 시킨다. 그 에 더하여, "레이저 '광선 을" 패턴' 을 정확 하게 맞추기 위하여 직결 하는 정밀 단계 가 들어 있다. "알리거 '620 의" 레이저' 조절 장치 는 "레이저 '의 동력, 파장 및 노출 시간 을 원하는" 패턴' 에 맞도록 조정 하는 데 사용 된다. 또한 다중 언어 뷰포트 (multalingual viewport) 와 같은 광학도 포함되어 있으므로 패턴을 정렬할 때 사용자가 정확성을 보장할 수 있습니다. 마지막으로, Aligner EVG/EV GROUP 620의 웨이퍼 단계는 기판 이동을 담당합니다. "스테이지 '는" 패턴' 을 정확 하고 정확 하게 정렬 할 수 있도록 정확도 가 높은 기판 을 신속 히 찾아내고 위치 를 정할 수 있다. EVG 620은 이동 범위가 확장되고, 리피트가능성이 1 µm이므로 포지셔닝 정확도가 우수합니다. 전반적으로 EV GROUP 620 Mask Aligner는 리소그래피를위한 안정적이고 정확한 패턴화 도구입니다. 레이저 제어 시스템, 광 열 (optical column), 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 통해 기판에 패턴을 빠르고 효과적으로 정확하게 전송하고 정렬 할 수 있습니다.