판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9244743

EVG/EV GROUP 620 (EVG/EV GROUP 620) 은 반도체 업계의 고정밀하고 높은 처리량 사진 해설을 위해 설계된 마스크 정렬기입니다. 통합, 자동 마스크 중심 장비를 갖춘 신뢰할 수 있는 고성능 마스크 정렬기입니다. 이 시스템은 탁월한 정렬 정확도 및 반복성, 초점, 압력, 격차 (focus, pressure, gap) 와 같은 노출 매개변수를 완벽하게 제어합니다. EVG 620에는 최적의 정렬 유연성을 위해 5 축 XYZ 스테이지 모션 유닛과 6 축 현미경 스테이지가 장착되어 있습니다. 2 단계 진공 척은 또한 고해상도 처리 중 기질의 안정성을 보장합니다. 스테퍼는 최대 200mm의 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있으며 코터-수용체 (coater-receptor) 조합을 포함하여 다양한 유형의 저항을 제어하는 데 이상적입니다. 고성능 UV 조명기를 통해 뛰어난 노출 균일성, 반복성 및 가벼운 처리량을 제공합니다. 내장 노출 컨트롤러는 노출 정확도가 0.02mL인 25mJ/cm2에서 500mJ/cm2까지 절대 용량 제어를 허용합니다. 게다가, 기계 는 튼튼 한 주조 "알루미늄 '구조 위 에 만들어져 장기적 인 안정성 과 정밀 함 을 보장 해 준다. 이 도구에는 직관적인 메뉴와 제어 에셋 (control asset) 이 있는 사용자 친화적인 그래픽 인터페이스가 있어 사용이 간편하고 간편합니다. 또한 중심 기능, 자동 레티클 정렬, 자동 프로세스 수정, 논스톱 (non-stop), 멀티 제품 처리 기능 등과 같은 고급 자동화 기능을 제공합니다. 마지막으로 EV GROUP 620은 3D 매핑 모델, 멀티 마스크 정렬, 멀티 챔버 기능, Edge to Edge 성능 등 다양한 맞춤형 기능을 갖추고 있습니다. 이 장비는 사진 (photolithography) 산업의 다양한 요구를 충족시킬 수있는 귀중한 도구입니다.