판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9223622

EVG/EV GROUP 620 (EVG/EV GROUP 620) 은 균일 한 패턴의 넓은 영역을 가진 정확한 광학 석판화를 허용하는 고급 마스크 정렬 자입니다. 최대 500 mm x 500 mm 크기의 기판을 처리 할 수 있으며 차세대 포토 마스크 (photomask) 시장의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 장비는 작업 셀 (Work Cell) 개념을 기반으로 하여 매우 다양하고 신뢰할 수 있습니다. 4 필드, 세미 필드, 자동 파일럿, 전체 필드 스캐닝 등 5 개의 노출 모드와 정확한 정렬을위한 전용 레벨 러 및 회전 시스템이 장착되어 있습니다. 이 플랫폼에는 고해상도 비디오 카메라가 장착되어 있어 웨이퍼 (Wafer) 의 정확한 화상 촬영과 공정 결과 관찰이 가능하다. EVG 620은 고급 광학 장치를 채택하여 고도의 정밀 석판화 (lithography) 를 보장하며, 자동 아스 페릭 스캐닝 렌즈 (aspheric scanning lens) 와 불소 객관식 렌즈 (fluoride objective lens) 를 포함한 최첨단 광학을 사용합니다. 이 기계는 전용 정렬 도구 (Alignment Tool) 를 추가로 갖추고 있어 높은 수준의 자동화 및 반복 기능을 제공합니다. EV 그룹 620 (EV GROUP 620) 은 자동 서피스 클리닝, 고급 웨이퍼 및 마스크 인식 루틴, 다중 프로세스 제어 기능과 같은 다양한 기능을 활용하여 마스크 생산용 통합 프로세스를 단순화하도록 설계되었습니다. 또한 다양한 마스크 크기와 기판 재료를 사용할 수 있습니다. 이 자산에는 통합 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 가 장착되어 있어 웨이퍼 (Wafer) 의 자동 교환이 가능하므로 처리량이 많은 생산에 이상적입니다. 또한, 고객의 구체적인 요구 사항에 맞게 소프트웨어를 맞춤형으로 구성할 수도 있습니다. 궁극적으로 620 마스크 정렬기는 성능, 유연성 및 정밀도의 독특한 조합을 제공합니다. 복잡한 포토 마스크 제작을위한 강력한 도구이며, 마이크로 일렉트로닉스, 반도체 및 나노 기술학 연구에서 광학 석판화 응용 분야에 이상적입니다.