판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9207967

EVG/EV GROUP 620은 빠르고, 정확하며, 다용도 작동을 통해 고급 정렬 및 패턴화에 최적화된 고정밀 정렬 및 다목적 마스크 정렬기입니다. 열 각인 왜곡이 문제가있는 나노 스케일 (nanoscale) 장치의 획기적인 제작을위한 낮은 열 예산 운영이 특징입니다. EVG 620은 웨이퍼 및 마스크 처리 단계, 빔 프로젝트 및 셔터 장비, 정밀 마스크 변환 단계, 컨트롤러 및 전동 조명 및 프로젝션 렌즈 시스템으로 구성됩니다. 웨이퍼 및 마스크 안정성은 독점 EVG/EV GRIPU P6000 기판 및 패턴 캐리어 포트 기술에 의해 보장됩니다. 이 기술을 사용하면 손쉬운 로딩, 총 자동화, 최대 5 '웨이퍼 및 10 x 10' 패턴 캐리어를 쉽게 포지셔닝할 수 있습니다. EV GROUP 620의 정밀 정렬 광학 장치는 개선 된 시야와 수차 감소를위한 컴퓨터 화 된 프레 넬 (Fresnel) 렌즈를 갖춘 Zemax 기반 광학 머신으로 구성됩니다. 또한 이중 조명 및 투영 도구와 필드 내 왜곡 교정 옵션이 있습니다. 웨이퍼 정렬 (Wafer alignment) 은 기계의 고급 정렬 센서 배열 및 자동 정렬 소프트웨어를 사용하여 수행됩니다. 또한 다양한 정렬 및 패턴 요구 사항을 지원하기 위해 고급 정렬 (Advanced Alignment) 모드가 장착되어 있습니다. 정확한 오버레이 값을 사용하여 작업하면 620 개의 패턴이 웨이퍼에서 정확하게 겹쳐 복잡한 구조를 만듭니다. EVG/EV GROUP 620의 다른 주목할만한 특징으로는 레이저 간섭계 기반 오버레이 및 패턴 정확도, 정확한 노출 제어를 위한 유압 구동 셔터가 있습니다. 자산은 또한 전통적인 포토 마스크 (photomask) 에서 SiGe 또는 GaN (GaN) 과 같은 고급 장치 재료에 이르기까지 다양한 재료와 함께 작동하기에 적합합니다. 전반적으로, EVG 620 은 강력한 다용도 마스크 조정기이며, 최고의 정확성과 정확성을 필요로 하는 애플리케이션에 대한 신뢰할 수 있는 선택입니다. 나노스케일 (Nanoscale) 기기를 만드는 완벽한 도구다. 전 세계 제작실에서는 없어서는 안 된다.