판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9180755

EVG/EV GROUP 620은 고급 리소그래피 및 사진 마스크 제작을 위해 특별히 설계된 마스크 정렬 자입니다. 이 마스크 정렬기는 연구 개발 연구소, 대학 연구 또는 파일럿 생산 응용 프로그램에 적합합니다. 이 마스크 정렬기는 포토 마스크 산업에서 성공한 여러 가지 기능 (예: 190mm 및 200mm 웨이퍼 형식) 을 자랑합니다. 결과적으로, EVG 마스크 정렬 기 (EVG mask aligner) 는 다양한 용도로 사용되며, 단순하고 고급 구조를 이미징 할 수 있습니다. "마스크 '상단 에 놓인 감광 층 은 더 큰 기질 직경 의 고품질" 이미징' 을 가능 하게 한다. 이 층 은 또한 "마스크 '에서 설계 된 기판 으로" 이미징' 공정 을 쉽게 전달 할 수 있게 해 주며, 따라서 올바른 정밀도 와 정렬 을 달성 할 수 있게 해 준다. 고급 (Advanced) 프로세스 제어는 장치가 정확하고 반복 가능한 배선 및 이미징 결과를 생성하도록 합니다. 이것은 이중 단계 프로세스에 의해 달성되며, 여기서 1 단계는 광전자 (photoresist) 의 적용과, 2 단계는 기질의 노출과 관련이 있습니다. 이 프로세스는 완전히 자동화된 방식으로 수행되며, 필요한 경우 추가 단계 (예: 엠보싱 (embossing) 또는 와이어 (wire) 마킹) 를 추가할 수 있습니다. EVG 620 이미징 시스템은 또한 레이저 기반 현장 노출 도구 (in-situ exposure tool) 를 갖추고 있으며, 최소 인간 노력과 시간으로 정교한 집적 회로 설계를 정확하게 만들 수 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스는 마스크 작성 프로세스 흐름을 완전히 따르며, 필요한 기능만 액세스할 수 있습니다. 이 공구 구조 는 손쉽게 접근 할 수 있도록 설계 되었는데, "안전 표시기 '를 가진 사람 들 만 기계 에 접근 할 수 있도록" 노출' 실 을 지키는 사용자 정의 된 안전 광선 "커튼 '이 있다. 또한 내장형 통신 시스템 (Communication System) 을 통해 다른 위치에서 원격 모니터링 및 제어를 수행할 수 있습니다. 또한 EV 그룹 620 (EV GROUP 620) 의 설계는 완전히 모듈화되어 특정 애플리케이션 요구 사항에 적합한 도구 구성을 선택할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 제품 개발 및 효율적인 업그레이드/업데이트 기간 (lead time) 을 단축할 수 있습니다. 결국, 620 은 고급 엔지니어링 및 사용자 친화적 기능을 갖춘 효과적이고 신뢰할 수 있는 마스크 조정기입니다. 모듈식 (modular) 설계는 모든 유형의 환경과 요구 사항에 적합하도록 유연하며, 사용하기 쉬운 프로세스 제어 (process control) 를 통해 고품질 이미징 결과를 얻을 수 있습니다.