판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9160674

EVG (EV GROUP) EVG/EV GROUP 620은 자동 및 올인원 마스크 정렬 자로, 반도체 산업의 다양한 응용 분야에 대해 사진 촬영 분야에서 광범위하게 사용됩니다. EVG 620 은 유연한 고정밀 리소그래피 (lithography) 툴로서, 광범위한 정렬 및 이미징 기능을 제공하여 IC (complex integrated circuit) 칩 및 기타 마이크로일렉트로닉 장치 제조에 사용할 수 있습니다. EV GROUP 620은 중요한 리소그래피 응용 프로그램에 대해 매우 정확하고 반복 가능한 포지셔닝을 갖추고 있습니다. 5 축 고정밀 XY-theta 글로벌 포지셔닝 장비 (GPS) 스테이지와 멀티 축 piezo 구동 로컬 정렬 시스템 (LAS) 을 결합하여 나노 미터 범위에서 인상적인 정확성과 반복 성을 제공합니다. 620은 또한 PBS (State-of-Art Polarizing Beam Splitter) 현미경을 자랑하며, 이를 통해 확대율이 높은 광학 영상이 서브 미크론 해상도와의 정렬을 지원할 수 있습니다. 또한 EVG/EV GROUP 620에는 이미지 기능을 더욱 향상시키는 통합 레이저 다이오드 이미징 장치도 포함되어 있습니다. EVG 620 은 많은 "레지스트 '두께 로 다양 한 기판 을 처리 할 수 있다. 고정밀 스테이지는 최대 300mm (12 인치) 크기의 기판에서 IC를 정렬하고 정확하게 이미지화할 수 있습니다. 또한 이중 damascene 기능 형성, 참호, vias, 게이트 또는 복잡한 3D 구조의 형성 할 수 있습니다. EV GROUP 620 은 고객의 구체적인 요구 사항에 맞게 구성할 수 있는 광범위한 구성/옵션을 갖추고 있습니다. 이러한 구성에는 IC 정렬기, 마스크 정렬기, 웨이퍼 스캐너, 마스크 스캐너 및 펄스 레이저 직접 이미징 머신 등이 포함됩니다. 또한 620에는 터치스크린 기술이 적용된 사용자 친화적이고 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 있어 경험이 부족한 사용자도 쉽게 사용할 수 있습니다. 이 일체형 마스크 조정기 (All-in-one mask aligner) 는 실제로 모든 프로세스 제어 도구와의 호환성을 제공하도록 설계되어 기존 내부 구성 프로세스 내에서 손쉽게 통합 및 작동할 수 있습니다. 게다가, 이 기계는 클린 룸 (cleanroom) 환경에서 작동할 수 있으며, 항상 최적의 작동을 보장하기 위해 탁월한 서비스 및 지원을 받습니다. 전반적으로, EVG/EV GROUP 620은 최첨단 성능과 업계 최고의 품질 표준을 제공하는 놀라운 마스크 정렬기입니다. 첨단 기능 및 신뢰성을 통해 사진 (photolithography) 응용 프로그램에 가장 적합한 제품 중 하나입니다.