판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9157850

EVG/EV GROUP 620은 다목적 처리 및 테스트 요구를 위해 설계된 고급 Mask Aligner 장비입니다. 완전하게 자동화된 광 정렬 (Optical Alignment) 기술을 통해 견고하거나 유연한 마스크에 대해 플랫 기판을 정확하고 반복적으로 등록 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 광범위한 어플리케이션에 대한 탁월한 처리량과 정확성을 제공합니다. EVG 620은 세계 최고 수준의 광 구성 요소, 소프트웨어 및 시스템 엔지니어링을 갖추고 있습니다. 2 개의 13 축 정밀도 드라이브를 포함한 최첨단 정렬 장치 (state-of-the-art alignment unit) 는 활성 정렬 프로세스 동안 기판의 정확한 제어를 제공하면서 높은 정밀도를 달성 할 수 있습니다. 이것은 저항 이미징, 파인 라인 리소그래피, 정밀 기판 준비 및 기타 어려운 작업과 같은 응용 프로그램에 이상적입니다. 고정밀 광학 이미징 센서와 조향 가능한 마스크의 조합을 사용하는 자동 정렬 프로세스 (automated alignment process) 는 X 축과 Y 축에서 +/- 1 미크론보다 우수하고 Z 축에서 +/- 2 미크론보다 더 나은 반복 가능으로 매번 기판의 정확한 배치를 보장합니다. 이를 통해 매우 정확한 저항 이미지와 정확한 기판 준비가 가능합니다. 이 기계는 또한 모든 작업에 대한 서브 미크론 정확성을 보장하기 위해 강력한 석판화 도구를 갖추고 있습니다. 에셋의 자동 Z-focus 모듈을 사용하면 동적 스캔을 통해 두께에 대한 균일성을 보장할 수 있습니다. 캐스케이딩 (Cascading) 작업 모드는 초고해상도 및 편차 제어를 보장하며, 고급 정렬 및 감지 알고리즘을 통해 설계 데이터를 빠르고 정확하게 일치시켜 이상값을 최소화합니다. 이 모델은 또한 고해상도의 컬러 LCD 4.3 "터치 스크린 (터치 스크린) 을 통해 정렬, 노출 수, 기판 당 총 노출량, 저항 결과에 대한 상세한 평가 등 정보를 표시합니다. 이렇게 하면 쉽고 직관적인 작업이 가능합니다. EV GROUP 620은 뛰어난 성능 및 사용자 친화적 운영을 제공하는 고급 Mask Aligner 장비입니다. 다양한 어플리케이션에 대해 뛰어난 속도와 정확도를 제공하는 한편, 고해상도의 컬러 LCD 4.3 "터치 스크린 (Touch Screen) 을 통해 제공되는 저항력 (Resist Result) 에 대한 자세한 평가를 제공합니다.