판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9149820

EVG/EV Group EVG/EV GROUP 620은 광학 리소그래피에 사용되는 차세대 마스크 정렬 자입니다. 동급 다른 마스크 정렬자보다 높은 수준의 정확도, 타협하지 않은 균일성, 뛰어난 프로세스 일관성을 제공합니다. 이 장비는 완전히 자동화된 고속 정렬 단계를 갖추고 있습니다. "마이크로포지셔닝 '은 전례 없는 수준의 정확성과 반복성을 가지고 있다. 광학 프로브 카메라는 웨이퍼 샘플의 정확한 위치를 결정하는 데 도움이됩니다. 광 정렬 장치 (Optical Alignment Unit) 는 웨이퍼 간 임계 치수 균일성에 대한 반도체 표준을 충족하며, 고해상도 정렬 센서는 정확한 위치 정확도를 제공합니다. 마스크 스테이지는 뷰 (field-of-view) 평면이있는 완전 자동 고속 포인팅 장치 (High Speed Pointing Unit) 로 구성되며, 마스크 크기와 Photoresist 두께를 기준으로 지속적으로 조정됩니다. 이를 통해 마스크 배치의 정확성을 보장하고 잠재적 등록 오류를 줄일 수 있습니다. 또한, 기계에는 마스크의 빠른 로드 및 언로드를 용이하게하는 통합 기계식 클램프 (clamping) 도구가 있습니다. 이 자산에는 사용자 워크플로우 효율화, 효율성 향상을 위해 설계된 여러 기능이 있습니다. 자동 레시피 모델은 단일 레시피만으로 프로세스 설정 및 균일성 검증을 단순화합니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 사용자는 프로세스 레시피를 신속하게 구축하고 제어할 수 있으며 실시간 (real-time) 조정을 허용합니다. 또한, 장비는 처리량 향상을 위해 최대 5 개의 레시피 런을 동시에 지원합니다. EVG 620은 세계 최고 수준의 광학 석판화 성능을 제공합니다. 고정밀 정렬 시스템은 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공합니다. 완전 자동 마스크 배치 (fully-automated mask placement) 단계는 정확한 마스크 위치를 보장하며, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 레시피와 프로세스 설정을 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 반복 가능하고 안정적인 프로세스 성능을 위해 통합 온도 제어 기술을 갖추고 있습니다.