판매용 중고 EVG / EV GROUP 601 #9402075

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ID: 9402075
Flood exposure tool.
EVG/EV GROUP 601 Mask Aligner는 고급 photomask 제작에서 다중 처리 제품군의 일부로 사용하도록 설계된 고정밀 마스크 Aligner입니다. 기판의 크기는 최대 200mm x 250mm, 정렬 정확도는 최대 60 나노미터 (nm) 이며, 이 마스크 정렬기는 가장 섬세하고 민감한 포토 마스크 (photomask) 를 처리 할 수 있습니다. EVG 601 마스크 알리너 (EVG 601 Mask Aligner) 는 기판에서 패턴 화 된 포토 마스크의 정확한 석판 정렬이 필요한 제조 프로세스를 위해 특별히 설계되었습니다. 마스크 정렬기 (mask aligner) 에는 이중 단계 정렬 표시와 실시간 이미징 (real-time imaging) 이 장착되어 있어 photomask가 기판과 정확하게 정렬되어 있습니다. 2 차원 정밀 스테이지는 압전 드라이브 기술을 사용하여 나노 미터 레벨 스텝 해상도를 제공하고 10 nm의 위치 반복 성을 제공합니다. EV GROUP 601 Mask Aligner는 최대 200mm (대각선) 크기의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 정렬 시스템은 다른 모양의 photomask를 수용하도록 조정할 수 있습니다. 601 Mask Aligner는 마스크, 레티클, 사진 마스크 사전/사후 처리 등의 고급 리소그래피 프로세스를 위한 탁월한 선택입니다. 또한 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 에는 정렬 표시 간의 자동 이동과 더 빠른 정렬 시간 (Alignment Time) 을 지원하는 온보드 탐색 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 탐색 시스템은 더욱 빠르고 정확한 기판 대 마스크 정렬을 보장합니다. EVG/EV GROUP 601 Mask Aligner는 다양하고 신뢰할 수있는 마스크 정렬 기로, 다양한 석판 공정에서 사용할 수 있습니다. 마스크 정렬기는 고정밀 정렬, 빠른 처리 속도, 향상된 수율을 제공할 수 있으므로 EVG 601은 photomask 처리에 이상적인 선택입니다.
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