판매용 중고 EVG / EV GROUP 420 #293757176

EVG/EV GROUP 420 Mask Aligner는 사용자에게 프로세스 개발을 위해 동적 패턴 마스킹 및 도량형 기능을 제공하는 다용도 마스크 정렬기입니다. EVG 420 Mask Aligner는 광학 석판화에서 나노 스케일 기술에 이르는 프로젝트에 이상적입니다. 최신 정밀 정렬 기술 (precision alignment technologies) 과 레이저 (laser) 를 사용하여 정확도가 높으며, 다양한 기판의 변형과 프로세스 전문성을 제공할 수 있습니다. EV 그룹 420 마스크 알리너 (EV GROUP 420 Mask Aligner) 는 많은 마스크 프레임을 한 번에 빠르게 로드할 수 있도록 특수 통합 터렛을 설계하고 장착하여, 서로 다른 마스크를 쉽게 전환하고, 여러 프로젝트를 동시에 실행할 수 있습니다. 또한, 수동 정렬 (Manual Alignment), 자동 코너 탐지 (Automatic Corner Detection) 및 모서리 탐지 (Edge Detection) 의 세 가지 응용 프로그램 요구를 충족하도록 설계된 별개의 정렬 모드를 제공합니다. [수동 정렬] 은 깨지기 쉬운 마스크를 정렬하고 잔류 왜곡을 최소화하는 가장 정확한 방법입니다. 또한 420 Mask Aligner 는 빠른 처리량을 약속하며, 주기 시간은 240 초, 처리 속도는 시간당 최대 200 웨이퍼입니다. 최소 기판 두께가 0.2mm로 인해 얇은 기판을 처리 할 수도 있습니다. 한편, 마스크 알리너 (Mask Aligner) 는 또한 적응 포커스 제어, 기울기 제어 및 평면 화 알고리즘을 제공하여 프로세스 품질을 향상시킵니다. EVG/EV GROUP 420 Mask Aligner의 다른 주목할만한 기능으로는 완전 자동 웨이퍼 로드 및 언로드; 온도 조정을위한 열 영상 시스템; 최첨단 CCD 및 자동 노출 이미징 시스템; 오버레이 정렬 레시피 라이브러리. 전반적으로, EVG 420 Mask Aligner는 빠르고 정확한 석판화 (lithography) 및 도량형 프로세스에 이상적인 다양한 기능과 기능을 갖춘 다용도 이미징 도구입니다. 높은 정확도와 속도가 가장 중요한 개발, 연구 환경에 이상적인 도구입니다.