판매용 중고 EVG / EV GROUP 420 #293589823
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ID: 293589823
Aligner
Bond alignment holder
Bond align chuck
Mask holder: 5" and 7"
Lithography chuck: 4" and 6".
EVG/EV GROUP 420은 반도체 산업에서 사용되는 photolithography의 고급적이고 신뢰할 수있는 마스크 정렬 자입니다. 매우 작은 구조와 MEMS 구성 요소의 대용량 생산을 위해 설계되었습니다. 고급 정렬 장비와 사용자 중심의 직관적인 소프트웨어를 제공하여 사용자 편의성을 극대화합니다. 이 시스템은 초점 탐지기로 증강 된 레이저 스팟 정렬 장치 (laser spot alignment unit) 로 구동되는 정밀 광학 이미징 헤드로 구성됩니다. 노출 후 정렬 도구의 폭이 넓어, 0.5µm의 반복 가능성에서 ± 1.5äm의 정밀 위치 정확도를 달성합니다. 이 도구는 광범위한 환경 조건, 적당한 가속 및 감속에 걸쳐 작동합니다. 조명 시스템 (옵션) 을 자산에 추가하여 균일성, 프로세스 제어 및 실시간 노출 모니터링을 향상시킬 수 있습니다. 다이-투-다이 호환성을 제공하여 동시에 노출 및 개발을 가능하게 합니다. 모듈식 (modular) 과 경량 (lightweight) 설계를 통해 뛰어난 시간과 안정성을 제공하므로 다른 작업에 쉽게 재구성할 수 있습니다. 이 모델에는 정밀 프레임 정렬, 통합 웨이퍼 처리 기능, 핫 척 (hot chuck) 및 고급 노출 제어 기능이 통합되어 있습니다. 사용자 친화적 인 터치 패널 컨트롤, 자동 초점 감지, 조정 가능한 노출 타이머 (timer) 를 갖춘 유연하고 인체 공학적 디자인이 특징입니다. 머신의 성능과 정확도는 더 비싼 시스템과 비교되는 반면, 더 적은 수의 환경과 프로세스 보상 (process compensation) 기술을 필요로 합니다. 또한 마스크 정렬 장치 (예: 이전 노출 계층 등록, 다중 계층 등록) 에서는 사용할 수 없는 기능을 제공합니다. 이 기계는 안전하고 사용하기 쉽고, 매우 정밀한 기능을 정확하고 안정적으로 노출시킬 수 있습니다. EMC VTL (Virtual Tape Solution) 은 높은 가치의 고급 애플리케이션 노출을 위한 확장된 기능을 제공합니다. 전반적으로, EVG 420은 반도체 업계의 대용량 생산 어플리케이션에 적합하고, 안정적이고, 사용하기 쉬운 고급 마스크 정렬기입니다. 고급 사진 해설법 (Photolithography) 프로세스의 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다.
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