판매용 중고 EVG / EV GROUP 40 #9245287

EVG / EV GROUP 40
ID: 9245287
웨이퍼 크기: 12"
Alignment measurement system, 12".
EVG/EV GROUP 40은 반도체, 디스플레이, 마이크로 전자 부품, LED 및 태양 전지 생산에서 다양한 포토 마스크를 노출하고 정렬하는 데 사용되는 정밀 마스크 정렬기입니다. 여기에는 대상 레이어 두께를 측정하고 포토마스크 (photomask) 와 대상 (target) 레이어 사이의 정확한 정렬을 보장하는 정밀 센서가 장착되어 있습니다. EVG 40은 추가 기계를 기다리지 않고 포토 마스크 (photomask) 를 변경하고 정렬하는 편리한 수단을 제공하는 컴팩트한 디자인을 갖추고 있습니다. 마스크 정렬기는 10, 20 및 30cm의 세 가지 표준 크기로 제공됩니다. 가장 큰 버전은 최대 크기가 370 x 500 mm인 마스크를 정렬 할 수 있습니다. 모든 모델은 스테인레스 스틸 홀더 (stainless steel holder) 및 그리퍼 (gripper) 와 호환되므로 대상 레이어를 부드럽고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 또한 마스크 정렬기를 사용하면 반자동, 전체 자동 및 단일 웨이퍼 정렬을 사용할 수 있습니다. 높은 처리량과 높은 정확도 기능과 저진동 작동이 특징입니다. 또한 EV GROUP 40에는 보호 실드와 같은 통합 안전 기능 및 추가 보호를 위한 비상 정지 (Emergency Stop) 스위치가 포함되어 있습니다. 반복 가능성과 정확성을 보장하기 위해, 정밀한 정렬을 위해 자동 위치 조정 도구 (automatic position calibration tool) 도 갖추고 있습니다. 또한, 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 데이터를 쉽게 입력할 수 있는 종합적인 제어 소프트웨어와 읽기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. 40은 신뢰성이 높고 비용 효율적입니다. 다양한 목표물에 대해 빠르고 정확한 포토 마스크 (photomask) 를 정렬하여 완벽한 웨이퍼 (wafer) 제작 프로세스를 보장합니다. 게다가, 크기 가 편리 하고 운영 이 쉬우므로, 연구 와 개발 에서 생산 에 이르기 까지, 광범위 한 "응용프로그램 '을 위한 완전 한 선택 이 된다.
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