판매용 중고 ELS TECHNOLOGY ELS 106SA #9263362

ELS TECHNOLOGY ELS 106SA
ID: 9263362
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2011
Mask aligner, 6" 2011 vintage.
ELS TECHNOLOGY ELS 106SA는 고정밀 포토 마스크 및 광학 집적 회로 제조를 위해 설계된 최첨단 마스크 정렬기입니다. 마스크 노출, 위치 정밀도 유지, 효율적이고 신뢰할 수 있는 마스킹 솔루션을 제공하는 정교한 멀티 레이어 진공 (multi-layer vacuum) 장비를 갖추고 있습니다. 이 기계는 선형 (linear) 모드와 각도 (angular) 정렬 모드 모두에서 작동하므로 필요에 가장 적합한 솔루션을 선택할 수 있는 유연성을 제공합니다. ELS 106SA 는 진공베이스플레이트 (vacuum baseplate) 를 갖추고 있으며, 정확한 X/Y 정렬을 위한 사이드 드라이브 (side drive) 를 통해 마스크가 정확한 위치와 방향에 안전하게 고정되도록 합니다. 공기 "쿠션 '은" 마스크' 의 압력 을 감소 시키기 위하여 사용 되며, "마스크 '는 정렬 과정 전체 에 적용 되도록 유지 되며 열 팽창 혹은 다른 운동 으로 인하여 잠재적 인 정렬 의 오류 를 제거 한다. 공기 쿠션은 또한 더 조용한 작업 환경에 기여하며, 마스크가 ELS TECHNOLOGY ELS 106SA에서 손상되지 않도록 보장합니다. 기계의 다단 진공 시스템 (multi-stage vacuum system) 은 매우 높은 마스크 정확도를 달성 할 수 있습니다. 고정밀도 회전 위치 지정 장치 (high-precision rotary positioning unit) 를 사용하면 마스크의 전체 정렬 범위를 정확하게 결정할 수 있습니다. 그 진공 상태 는 또한 "마스크 '가 정렬 과정 중 에 안전 하게 붙어 있음 을 보장 해 주며, 그 로 인해" 마스크' 의 정렬 의 위험성 이 없어진다. 이것 은 또한 "마스크 '의 전단 을 정확 하게 보상 할 수 있게 해 주며, 더욱 정밀 하게 보충 해 준다. 엘스 106 사 (ELS 106SA) 에는 내장형 레이저 정렬 머신이 장착되어 있는데, 기존 방법으로 볼 수 있는 수준보다 훨씬 작은 수준을 측정할 수 있다. 이를 통해, 최소한의 연산자 개입을 통해 높은 정확도와 신뢰성을 통해 정확한 정렬을 달성할 수 있습니다. 기계의 온보드 소프트웨어 (on-board software) 를 사용하면 정렬 프로세스를 정확하고 반복적으로 제어할 수 있으며, 필요에 따라 사용자가 원하는 대로 정렬을 조정하고 사용자 정의할 수 있는 유연성을 제공합니다. 추가 사용자 정의 (customization) 는 소프트웨어의 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 사용할 수 있으며, 사용자는 컴퓨터를 다시 프로그래밍하지 않고도 정렬을 약간 조정할 수 있습니다. 요약하면, ELS TECHNOLOGY ELS 106SA는 높은 수준의 정확성과 신뢰성을 가진 마스크를 만들 수있는 정교한 마스크 정렬기입니다. 단순한 선형 (linear) 정렬에서 고급 (advanced) 각도 정렬에 이르기까지 다양한 옵션을 제공합니다. 따라서 사용자가 원하는 솔루션에 가장 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다. 온보드 소프트웨어 (On-Board Software) 및 통합 레이저 정렬 (Integrated Laser Alignment) 도구를 통해 최소한의 운영자 개입을 정확하게 조정하여 안정적이고 효율적인 마스킹 솔루션을 사용자에게 제공합니다.
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