판매용 중고 ELS TECHNOLOGY ELS 106SA #293768116

ELS TECHNOLOGY ELS 106SA 마스크 정렬기는 반도체 장치 제조에 사용되는 다재다능하고 정확하며 신뢰할 수있는 리소그래피 도구입니다. 이 장비는 고해상도 전자 빔, x-ray 및 광학 리소그래피 응용 프로그램용으로 설계되었으며 나노 미터 스케일 정확도를 제공합니다. 이 시스템에는 마스크 정렬기, 챔버, 기판 척 및 액세서리가 포함됩니다. 마스크 정렬 기 (Mask Aligner) 는 동력 단계를 사용하여 500nm까지 작은 해상도의 마스크를 정확하게 이동하고 정렬합니다. 이를 통해 구성 중인 장치가 정확하고 원자 적으로 정렬되도록 할 수 있습니다. ELS 106SA의 챔버는 단일 영역, 원 피스, 서브 미크론 클린 클래스 온축 디자인입니다. 이 설계는 빠른 기판 척 (chuck) 삽입 및 제거를 가능하게하며, 챔버에는 여러 액세서리를 쉽게 통합 할 수있는 독특한 포팅 머신이 있습니다. 또한 정밀 정렬에 대한 열 보상을 제공하기 위해 고온 가열원이 있습니다. ELS TECHNOLOGY ELS 106SA의 기판 척 (chuck) 은 저각 기판을 가능하게하며, 5nm까지 작은 해상도를 달성 할 수있는 사전 정렬 정렬 마커가 있습니다. 선택적 액세서리에는 전자 빔 증발기, 가스 주입 증착 소스, 광학 집중 도구 및 쿼츠 결정 모니터링 자산이 포함됩니다. 이 모델에는 운영자 안전을 보장하는 안전 연동 기능도 포함되어 있습니다. ELS 106SA 는 연구 및 산업 응용프로그램용으로 설계되었으며, 다목적 제작 작업을 위한 사용자 친화적, 직관적인 제어 기능을 제공합니다. 여러 매개변수를 구성하고 장비 성능을 모니터링하기 위한 고급 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 제공됩니다. 또한 분석 및 로깅 (logging) 기능도 제공합니다. 따라서 클라이언트는 패턴 변경을 쉽게 추적하고 이상을 감지할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 최적의 도구 성능을 유지하기 위해 주기적으로 검사하고 테스트하는 통합 유지 관리 시스템 (Integrated Maintenance Machine) 을 자랑합니다. 이 자산은 강력하고, 안정적이며, 환경 및 운영 스트레스를 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 ELS TECHNOLOGY ELS 106SA 마스크 정렬기는 고해상도 리소그래피 어플리케이션을 위해 설계된 정확하고, 사용자 친화적이며, 신뢰할 수 있는 모델입니다. 첨단 기능, 견고한 설계, 직관적인 제어 장비는 반도체 장치 제작에 이상적인 도구입니다.