판매용 중고 ELS TECHNOLOGY ELS 106FA #9359456

ELS TECHNOLOGY ELS 106FA
ID: 9359456
Fully automatic mask aligner.
ELS TECHNOLOGY ELS 106FA는 PCB (Printed Circuit Board) 및 반도체 부품과 같은 중고밀도 전자 장치의 자동 석판화에 이상적인 4 인치 마스크 정렬기입니다. 탁월한 마스크 정렬 정확도, 높은 처리량, 낮은 TCO (총 소유 비용) 를 제공하는 최첨단 제품입니다. 이 마스크 정렬 기 (mask aligner) 는 노출 분야에서 균일 한 조명과 정확한 마스크 배치를 통해 0.55 미크론까지 해상도를 제공하는 고급 렌즈 장비를 사용합니다. 넓은 노출 범위와 매우 낮은 왜곡으로 인해 플립 칩 (flip chip) 어셈블리에 적합합니다. ELS TECHNOLOGY ELS-106FA의 통합 컨트롤러에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스가 있는 내장 PC가 포함되어 있습니다. LAN 및 WAN 연결을 통해 전체 프로세스를 로컬 또는 원격으로 제어하고 모니터링합니다. 이 컨트롤러는 샘플 앤 플레이스 (sample-and-place) 통합 교정을 제공하며 다국어 지원을 통해 글로벌 운영에 적합합니다. ELS 106FA에는 성능 및 효율성을 최적화하는 몇 가지 추가 기능이 제공됩니다. 고급 조닝 (zoning) 조명 기술은 왜곡을 줄이고, 정확도를 향상시키며, 고밀도 설계에도 빠른 처리량을 제공합니다. 높은 정확도와 매우 빠른 레티클 (reticle) 정렬은 대용량 생산뿐만 아니라 전체 대역 정확도를 달성합니다. 광각 Telecentric optics는 전체 작업 봉투에 비해 2äm 이상의 정렬 정확도를 제공합니다. ELS-106FA는 대용량 생산에 적합하며 고급 직업 관리 시스템과 함께 제공됩니다. 자동 샘플 등록 및 등록 정렬 (automated sample registration and registration alignment) 기능을 통해 모든 웨이퍼에 동일한 마스크가 올바르게 등록되는지 확인합니다. 고급 작업 편집기 (Advanced Job Editor) 를 사용하면 복잡한 마스크 정렬, 노출 및 증착 작업을 빠르고 효율적으로 설정하고 관리할 수 있습니다. ELS TECHNOLOGY ELS 106FA는 또한 정교한 진공 척 (vacuum chuck) 으로 설계되어 기본 표면의 손상을 최소화하면서 탁월한 유지력을 제공합니다. 플립 칩 (flip chip) 어셈블리와 같은 컨택트 소켓뿐만 아니라 다양한 기판, 재료를 처리 할 수 있습니다. 노출 시간이 최적화되어 ELS TECHNOLOGY ELS-106FA를 사용하면 수율을 크게 향상시킬 수 있습니다. ELS 106FA 마스크 정렬기는 PCB 및 반도체 부품과 같은 중고밀도 전자 장치의 자동 리소그래피에 이상적인 도구입니다. 매우 정확한 렌즈 장치, 통합 교정, 고급 조닝 (zoning) 기술, 작업 관리 머신을 갖춘 직관적인 컨트롤러로, 전체 대역의 정확성과 대용량 생산이 가능합니다. 유연성과 비용 효율성을 통해 다양한 애플리케이션에 탁월한 선택이 가능합니다.
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