판매용 중고 ELS TECHNOLOGY ELS 106FA #9052741

ELS TECHNOLOGY ELS 106FA
ID: 9052741
Fully automatic mask aligner, 2" - 8" Mask Size: 4" - 9" Lamp House: 250W, 500W, 1KW Wave Length: Broad Band, 365/400/436nm Light Intensity: >20mW / cm2 Based on 365nm (250W); >40mW / cm2 Based on 365nm (500W) Light Intensity Uniformity: < 3% Effective Exposure Area: Max. 150 mm x 150 mm / Max. 200 mm x 200 mm Transportation: Double Arm Robot Exposure Mode: Proximity, Soft, Hard, Vac. Contact Alignment Key: 150 x 150um and smaller Alignment Accuracy: ± 1um L/S Resolution: 1um Based on contact Mode, PR thickness: 1um Running Time: < 28 sec./pc System Control: PC Base Option: Cut Filter, Double Sides Alignment.
ELS TECHNOLOGY ELS 106FA는 마이크로 일렉트로닉스 및 광자 제작을위한 현대적인 고급 Automated Mask Aligner입니다. 모든 연구 및 개발 중심 회사, 실험실, 대학 등에 이상적인 솔루션입니다. ELS TECHNOLOGY ELS-106FA는 리소그래피 기술의 최신 발전을 활용하여 광범위한 어플리케이션에 대해 매우 정확한 리소그래피를 제공합니다. ELS 106FA의 주요 구성 요소는 컨트롤러, 스테이지 데크, 스테이지 휠, 마스크 캐리어, 패턴 생성기, 웨이퍼 핸들러 및 웨이퍼 테이블입니다. 컨트롤러는 ELS-106FA 리소그래피 장비 실행을 위해 특별히 제작된 최신 Windows 10 Pro 소프트웨어 패키지가 장착 된 데스크탑 컴퓨터입니다. 스테이지 데크 (stage deck) 와 스테이지 휠 (stage wheel) 은 서로 상대적인 웨이퍼 및 마스크 테이블의 정확한 움직임을 제공합니다. 마스크 캐리어에는 패턴 생성기 (pattern generator) 가 있으며, 이 생성기는 원하는 석판 패턴을 생성합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 웨이퍼 테이블에서 스테이지 데크로 웨이퍼를 전송합니다. 마지막으로, 웨이퍼 테이블 (wafer table) 은 마스크와 웨이퍼를 정렬하고 고정하는 플랫폼입니다. ELS TECHNOLOGY ELS 106FA는 특허받은 무대 건너 뛰기 마스크 정렬 절차를 사용합니다. 특허를 획득한 이 기술은 마스크 (Mask) 를 정확하게 정렬하고 웨이퍼하는 데 필요한 시간을 단축하기 위해 고안된 것입니다. ELS TECHNOLOGY ELS-106FA는 자동화된 시스템으로, 연산자 개입없이 원하는 리소그래피 패턴을 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 최고 수준의 8 초m 해상도를 가지고 있으므로 높은 정확도를 요구하는 대부분의 어플리케이션에 적합합니다. ELS 106FA는 강력한 석판화 기능 외에도 다양한 패턴 생성 기술을 지원합니다. 여기에는 사용자 지정 개발 설계 템플릿 라이브러리를 사용하거나, 사용자가 제공한 마스크에 사용자 정의 설정을 적용하는 것이 포함됩니다. 또한, 이 기계는 개별 보드의 노출을 독립적으로 제어 할 수 있으며, 보다 복잡하고 고급 석판화 (lithography) 디자인을 가능하게합니다. ELS-106FA에는 수많은 다른 기능과 기능이 있습니다. 예를 들어, 이 도구는 IPC-A-600 및 IPC-7351을 포함한 업계 표준 준수를 지원합니다. 또한 한 번에 최대 500 개의 퓨즈 웨이퍼에 대한보고 및 추적 기능을 지원합니다. 또한 자산은 다양한 자동 품질 보증 도구를 지원합니다. 결론적으로 ELS TECHNOLOGY ELS 106FA Automated Mask Aligner는 성능 및 기능 면에서 독보적입니다. 이 제품은 고해상도를 갖춘 자동화된 리소그래피를 제공하며, 다양한 패턴 생성 기술을 지원하며, 업계 표준을 지원합니다. 이러한 모든 기능을 통해 ELS TECHNOLOGY ELS-106FA는 마이크로 일렉트로닉스 및 광자 제작을 위한 완벽한 선택이 가능합니다.
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