판매용 중고 ELS TECHNOLOGY ELS 106FA #293830837

ELS TECHNOLOGY ELS 106FA는 완벽한 통합, 고급 마스크 정렬기로, 탁월한 정확성과 생산성을 제공합니다. 고급 집적 회로 처리를 위해 정밀 포토 마스크 (photomask) 의 정렬 및 제작을 위해 설계되었습니다. ELS TECHNOLOGY ELS-106FA는 빠르고 정밀한 정렬을 위해 매우 정확한 고속 고급 기능 비교 알고리즘을 제공합니다. 이 마스크 정렬기는 고유한 단일 패스 (single-pass) 기능 감지 알고리즘을 사용하여 100µm 이내의 기능을 빠르고 정확하게 감지 및 정렬하여 처리량을 향상시키고 수율을 높일 수 있습니다. ELS 106FA 마스크 정렬기는 고급 광석판 기술을 사용하여 뛰어난 기능 감지 및 정확성을 제공합니다. 이 장비에는 뛰어난 기능 등록을 위해 고정밀 스테이지 및 클로즈드 루프 (closed-loop) 옵틱 컨트롤이 장착되어 있습니다. ELS-106FA 는 모든 기능을 갖춘 시스템으로, 운영 애플리케이션과 연구 애플리케이션 모두를 위한 다양한 고급 (advanced) 기능을 갖춘 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공합니다. 이러한 기능에는 기존 및 고밀도 패턴의 정밀도 정렬, 광시야각, 실시간 확대/축소, 빠른 마스크 변경, 사용자 정의 스테퍼 설정 및 기타 여러 기능이 포함됩니다. 이 장치는 또한 퍼지 논리 패턴 정렬, 이미지 안정화 (image stabilization) 및 왜곡 교정 (distortion correction) 을 포함한 다양한 고급 해상도 개선 기술을 제공합니다. ELS TECHNOLOGY ELS 106FA의 뛰어난 옵틱 제어 및 스테이지 정확도는 향상된 필름 균일성 및 라인 너비 제어를 제공합니다. 또한, 포함 된 푸리에 (Fourier) 변환 인식 및 기능 비교 알고리즘은 복잡한 아키텍처에도 빠른 정렬을 용이하게합니다. 최대 처리량을 위해 ELS TECHNOLOGY ELS-106FA (자동 마스크 로더) 를 장착할 수 있습니다. 이 로더는 고속 마스크 변경 기능을 제공하며 photomask를 수동으로 처리할 필요가 없습니다. 또한 ELS 106FA는 사용 편의성과 경제성을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 견고하고, 안정적이며, 즉시 사용 가능한 뛰어난 성능을 제공합니다. 또한 LCD 터치스크린 (LCD Touch Screen), 도구 점검 기능, 데이터 저장 및 리콜을 통한 생산성 향상과 함께 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 일관된 fiducial 인식 및 자산 성능 향상을 위해 ELS-106FA는 정확한 기능 정렬을 위해 PRM (Pattern Reference Mark) 을 사용합니다. 모델은 마스크 및 기판 정렬 모두에 대해 여러 유형의 PRM 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한, DFR (Dynamic Fiducial Recognition) 기능을 사용하면 정확한 실시간 이동 피드백을 통해 Fiducials가 적절한 매개 변수 내에 유지되도록 할 수 있습니다. ELS TECHNOLOGY ELS 106FA는 탁월한 정확도, 균일성, 처리량을 제공하여 생산 및 연구 프로젝트에 대한 처리 시간을 단축합니다. 고급 기능 비교 알고리즘, 정확한 optics 제어 및 fiducial 인식으로, 이 마스크 정렬기는 고급 집적 회로 프로세스 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.