판매용 중고 ELS TECHNOLOGY ELS 104SA #9161432

ELS TECHNOLOGY ELS 104SA는 하드 x-ray 및 소프트 X-ray 광학 제작에 사용되는 고급 마스크 정렬 자입니다. 엘스 104SA (ELS 104SA) 는 마스크 전면에 형성되고 이미징 광학에 노출된 정렬 표시를 사용하여 마스크 위치를 광학에 정확하게 등록합니다. 특히, ELS TECHNOLOGY ELS 104SA는 레이저 간섭법 (laser interferometry) 및 전자 이미지 분석을 사용하여 몇 나노 미터 내에서 기판판 위에 마스크를 정렬합니다. ELS 104SA는 마스크 스피너, 스캔 헤드, 빔 스플리터, 자동 스테이지 및 자동 감지기를 포함한 여러 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 마스크 스피너 (mask spinner) 는 마스크를 기판에 정확하게 정렬하는 데 사용되는 회전 모터입니다. 제어 소프트웨어를 통해, 프로그램은 정확한 XY 정렬을 허용하는 플레이트 스핀 속도를 선택합니다. 또한 수동 래스터 (Manual Raster) 를 통해 마스크 (Mask) 와 기판 사이의 겹침 (Overlap) 을 수동으로 조정하여 정렬 정확도를 높일 수 있습니다. ELS TECHNOLOGY ELS 104SA의 스캔 헤드를 사용하면 패턴 크기, 해상도 및 스캔 방향을 선택할 수 있으며 0.02 미크론 정확도와 10 나노미터 해상도를 유지할 수있는 초안정 쿼츠 평면 거울이 있습니다. 빔 스플리터 (beam splitter) 는 들어오는 빛을 두 개의 개별 빔으로 분리하는 프리즘 (prism) 이며, 하나의 빔은 더 작은 스캔 필드 크기를 제공하고, 마스크 또는 기판의 가장자리에서 수차를 줄이고, 처리량을 증가시킵니다. ELS 104SA의 자동 단계를 통해 높은 정확도와 안정성을 유지하므로, 정렬 정확성과 반복성이 보장됩니다. 또한 정확한 XY 스테이지 동작을위한 버니어 스케일이 포함되어 있습니다. 자동 탐지기 (auto detector) 를 사용하면 정렬 표시를 자동으로 인식하여 높은 정확도와 반복 가능성을 제공합니다. 즉, 자동 스테이지와 연동하여 정확도를 높이고 수동 정렬 (manual alignment) 비용을 최소화합니다. 전반적으로 ELS TECHNOLOGY ELS 104SA는 하드 엑스레이 (hard x-ray) 와 소프트 엑스레이 (soft x-ray) 옵틱을 모두 처리할 수 있는 마스크 정렬기를 찾는 사용자에게 이상적인 선택입니다. 매우 정확하고 반복 가능한 정렬 기능으로, ELS 104SA 는 의료/산업 분야의 여러 응용프로그램에 대한 안정적이고 경제적인 선택입니다.