판매용 중고 DNS / DAINIPPON MA-4200 #9358769

DNS/DAINIPPON MA-4200 Mask Aligner는 반도체 장치 생산을위한 고급 사진 분석 기계입니다. 이 고급 장비에는 자동 정렬 장치, 높은 정확도의 이동식 스테이지, 5 인치 노출 영역의 고성능 옵틱이 있습니다. 자동 정렬기 (auto-aligner) 는 스테퍼의 뷰 필드와 웨이퍼 자체의 왜곡을 측정하여 마스크와 웨이퍼의 전체 3D 정렬을 허용합니다. 이 시스템은 마스크와 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 사이의 공기 간격을 조정하여 두 서피스의 엄청나게 정확한 중복을 달성합니다. 정밀도 단계는 최소 침하와 진동으로 높은 정확도 (+/- 0.001mm) 이동을 제공하므로 마스크 및 웨이퍼의 부드러운 작동 및 정밀 정렬이 가능합니다. 무대는 완전히 전동화되고 완전히 자동화되어 수동 조정이 필요하지 않습니다. 이 장치에는 스테이지의 x, y 및 z 축을 측정하기 위해 2 개의 선형 인코더가 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 의 정확한 정렬을 보장하기 위해 고성능 옵틱을 장착하고 있습니다. 이 도구는 이전 마스크 정렬기와 달리 고급 렌즈 디자인 (Advanced Lens Design) 을 특징으로하며, 초점 깊이와 고해상도 이미징을 제공합니다. 이 자산은 3 개의 4X/5X 안경을 사용하여 사용자에게 전반적인 5X 정렬 확대율을 제공하며, 다양한 어플리케이션 요구 사항에 대한 다양한 특수 마스크 및 렌즈가 포함되어 있습니다. DNS MA-4200 Mask Aligner는 고정밀 반도체 장치를 생산하도록 설계된 고급 사진 분석 모델입니다. 고급 자동 정렬기, 고해상도 이동식 스테이지, 고성능 옵틱은 정확한 회로 에칭을 위해 마스크 및 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. 이 장비는 또한 뛰어난 초점 깊이와 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 을 제공하며, 다양한 반도체 어플리케이션을 위한 다양한 특수 마스크 및 렌즈를 제공합니다.