판매용 중고 DNS / DAINIPPON MA-4200 #9315610

DNS Screen DNS/DAINIPPON MA-4200은 microfabrication 프로세스의 photolithography에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 마이크로 일렉트로닉 장치 생산 및 반도체 부품 제작을 위해 특별히 설계되었습니다. 마스크 정렬 자 (Mask Aligner) 는 1 미크론의 해상도에서 기판에 대한 포토 esist 층의 석판 패턴화가 가능하다. DNS MA-4200은 고강도 할로겐 램프 광원 (light-source) 과 고급 옵틱 (optic) 을 사용하여 매우 높은 정확도와 정확도로 즉각적인 노출을 제공하는 완전 자동화된 컴퓨터 제어 노출 도구입니다. 전체적인 리소그래피 (lithography) 시스템은 단순성과 사용 편의성을 위해 설계되었으며, 최소한의 기술 교육을 통해 작동할 수 있습니다. DAINIPPON MA-4200에는 선 너비, 공간, 정렬 정확도, 선 가장자리 선명도, 임계 치수 (CD) 제어 등의 매개변수로 수정 및 조정 가능한 석판 패턴을 생성할 수있는 동적 패턴 생성기가 있습니다. 이 도구를 사용하면 2D (2D) 및 3D (3D) 피쳐를 포함한 복잡한 설계를 위해 다양한 패턴을 생성할 수 있으며, 이를 기판으로 전송합니다. 또한 MA-4200에는 컴퓨터 제어 상태 모니터링 시스템이 포함되어 있어 프로세스 모니터링을 지속적으로 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 시간이 지남에 따라 램프 (lamp) 와 광학 (optics) 성능을 모니터링하고 석판화 공정에 드리프트가 없도록 합니다. 또한, 이 기기는 또한 정렬 정확도의 주기적 교정을위한 교정 레티클 (calibration reticle) 을 특징으로합니다. DNS/DAINIPPON MA-4200 은 고급 기술과 간편한 운영의 결합으로 인해 처리 속도가 빠른 고성능 (고성능) 을 제공합니다. 업계에서 가장 높은 오버레이 (overlay) 등록 정확도를 제공하며, 선형의 선명도를 갖춘 서브미크론 해상도 패턴을 만들 수 있습니다. DNS MA-4200 은 모든 수준의 photolithographic 애플리케이션을 위한 안정적이고 효율적인 솔루션입니다.